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各種薬液の温度管理に！ウェットプロセスに欠かせない直接循環式薬液恒温装置
日本エクセル株式会社では『ケミカルサーキュレータ』を取り扱っております。 当製品は、RCA洗浄やウェットエッチングで用いられる薬液の温度を高精度に コントロール可能。ゴムOリングが直接液に触れないシール構造のため 酸性液、アルカリ性液など薬液毎のシール材質の選定が不要です。 また、冷却加熱部の伝熱接液部材は高純度のガラス状炭素を使用しており 溶出金属イオンによる汚染の心配がなく、表面保護膜も不要のため 剥離による能力低下もありません。 【特長】 ■薬液の温度を高精度にコントロール ■電子冷熱方式のため、室温付近の温度コントロールに適し且つ高精度 ■国際保護規格IP31に適合 ■漏液センサ、温度スイッチを内蔵 ■高メガピット化に伴うクリーン度アップのご要求にお応え ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
金属イオンの溶出汚染がないインライン型の抵抗ヒータ方式薬液加熱装置をご紹介
日本エクセル株式会社では『ケミカルヒータ』を取り扱っております。 当製品は、RCA洗浄やウェットエッチングで用いられる各種薬液の 高温加熱用として、短時間に精度よく温度制御する抵抗ヒータを用いて います。 さらに、接液部にはフッ素樹脂と高純度ガラス状炭素のみを用いているため 不純物汚染の恐れが無く、酸性薬液・アルカリ性薬液、及び有機溶剤への 対応が可能です。 【特長】 ■加熱部の伝熱接液部材は高純度のガラス状炭素を使用 ■溶出金属イオンによる汚染の心配がない ■表面保護膜不要のため、剥離による能力低下がない ■酸性薬液・アルカリ性薬液、及び有機溶剤への対応が可能 ■薬液の漏れを検知する漏液センサ、異常温度を検知する温度スイッチを内蔵 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
高周波対応のフッ素樹脂基板。関連技術についての特許を多数取得。
マイクロ波基板材料『PILLAR PC-CLAD』はマイクロ波～ミリ波回路に適した銅張積層板です。 『PILLAR PC-CLAD』は優れたコーティング技術により製造された高品質のプリプレグからなり、 独自の成形技術により厚さ、誘電特性等のばらつきを抑えた高周波対応のフッ素樹脂基板です。 両面プリント配線板、多層プリント配線板として、マイクロ波～ミリ波の機器に適した基板をご提供します。 高周波帯で優れたアンテナ特性、回路特性が得られ、また吸湿による特性変動が小さいため、 自動車向けの衝突防止レーダや、アンテナ、5Gスモールセル、 その他各種ミリ波・マイクロ波アプリケーションなど様々な分野でご活用いただけます。 【特長】 ■マイクロ波、ミリ波帯での低損失基板 ■吸水性が低く、薬液等の染み込みが極めて少ない ■銅箔密着性に優れ、微細パターンの信頼性が高い ■耐熱性が高く、絶縁層すべての誘電特性を同一にできるため、高周波回路の多層化に適した基板 ※詳しくはPDFダウンロードいただくか、お気軽にお申し付けください。
