真空配管設備 ヒータージャケットシステム [配管設備温度調節]
配管設備における温度調節を低価格で実現し、メンテナンスコスト節減!配管に合わせ、設計・製作から取付まで一環した対応ができます!
半導体、FPDの製造に用いられる特殊ガスは、温度の低下に伴い酸化・窒化する性質があるため、使用後、排ガス処理装置へ送る配管内においても、一定の温度を保ったまま排出しないと、酸化・窒化した固形物が配管内に残存し、配管をふさいでしまいます。 テクノフレックスのヒータージャケットシステムは、こうした特殊ガスの配管設備における温度調節を低価格で実現し、長期のランニングによる配管洗浄の手間といったメンテナンスコストの削減に貢献します。 【特徴】 ○コネクターの使用により、発熱負荷がかかりにくく、断線対策が可能! ○内部にサーマルと温度ヒューズを内蔵し、安全性が向上! ○配管・バルブ・フレキなどの設備のレイアウトにあわせて、 サイズや長さもご要望通りに都度設計、製作! ○マジックテープによる簡単装着が可能! ○熱電対を内蔵したタイプと非内蔵タイプの2種類をご用意! ○ヒーター取付まで一環した施工も対応できます! ●その他機能や詳細については、お問い合わせください。
- 企業:株式会社テクノフレックス
- 価格:応相談