Zステージ LMTシリーズ
Zステージ LMTシリーズ
各種コンポーネントを取り付け 大気側から直接移動調整が可能な中空Zステージ 【特徴】 ○オールメタルシールによりベーキング可能 ○コンフラットフランジ仕様により MBE装置等、各種超高真空装置に使用可能 ○φ34CF〜φ114CFまで対応 ○各種センサー・蒸着源と組み合わせることにより 真空内への移動が容易に行える ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
- 企業:アリオス株式会社
- 価格:応相談
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Zステージ LMTシリーズ
各種コンポーネントを取り付け 大気側から直接移動調整が可能な中空Zステージ 【特徴】 ○オールメタルシールによりベーキング可能 ○コンフラットフランジ仕様により MBE装置等、各種超高真空装置に使用可能 ○φ34CF〜φ114CFまで対応 ○各種センサー・蒸着源と組み合わせることにより 真空内への移動が容易に行える ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
XYZステージ XYZシリーズ
3軸の移動機構により、加熱機構や各種導入機 その他コンポーネントの位置調整用に最適な中空XYZステージ 【特徴】 ○オールメタルシールによりベーキング可能 ○コンフラットフランジ仕様により、MBE装置等 各種超真空装置に使用可能 ○φ70CF〜φ203CFまで対応 ○2本の調整ツマミにより、X-Y移動が可能 クロスローラベアリングによる精密移動 ○トランスファーロッド、回転導入機、直線導入機等と 組み合わせることにより真空内への多軸運動伝達が行える ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。