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ステージ(xy軸) - 企業1社の製品一覧

製品一覧

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精密電動リニアステージ『X-LDQ-AEシリーズ』

1nmの分解能リニアアナログエンコーダ内蔵によるフルクローズドループ制御!

『X-LDQ-AEシリーズ』は、最高分解能(最少移動単位)50nmの 精密電動リニアステージです。 画像解析等低振動搬送用途、高速・高精度搬送用途などに好適。 また、コントローラを内蔵しており、他のZaber製品と デイジーチェーン接続が可能となっております。 【特長】 ■1nmの分解能リニアアナログエンコーダ内蔵による  フルクローズドループ制御、高速高精度位置制御 ■ストローク長75、150、300、450、600及び1000mm、最大推力40N ■繰り返し精度:<0.3μm ■位置決め精度:2.5μm ■最高速度:1500mm/s ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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精密電動リニアステージ『X-LDM-AEシリーズ』

コントローラ・ドライバー内蔵!高速・高精度搬送などの用途に好適

『X-LDM-AEシリーズ』は、高精度アナログリニアエンコーダを 内蔵した精密電動リニアステージです。 ストローク長が60、110、210mmとなっており、位置決め分解能は<s1nm。 また、最大中心荷重は120N(約12Kg)で、最小移動単位、 繰り返し精度が25nm<0.08μmの製品となっております。 【特長】 ■位置決め精度:<1μm ■最高速度:1200mm/s ■最大加速度:3.5G ■コントローラ内蔵 ■他のZaber製品とデイジーチェーン接続が可能 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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