薄型ピエゾステージ 「ML-20XYL」
XY軸の薄型ピエゾステージです。
一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作を実現しており真直性に優れます。 詳しくはカタログをダウンロードしてください。
- 企業:株式会社メステック
- 価格:10万円 ~ 50万円
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XY軸の薄型ピエゾステージです。
一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作を実現しており真直性に優れます。 詳しくはカタログをダウンロードしてください。
小型ながら3軸変位拡大機構を内蔵
変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーと組合せることで高精度な位置決めができます。ご用途に合わせた形状カスタマイズ等にも迅速に対応可能です