縦置きステージ
ファインディバイスでは、お客様のご要求に合わせて、様々なステージコンポーネンツから最適なものを選択して、ステージを組み上げます。
コストパフォーマンスに優れ、フットプリントが小さい省スペースタイプ。 リニアモーター採用により発塵が少ない。 FPD用大型マスク検査、リペア用に最適なステージ。 ※詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社ファインディバイス
- 価格：応相談
ステージ(自動) - 企業1社の製品一覧
製品一覧
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大型ガントリータイプXYステージ
ファインディバイスでは、お客様のご要求に合わせて、様々なステージコンポーネンツから最適なものを選択して、ステージを組み上げます。
リニアモーター駆動でリニアガイド採用。 0除震台を上方に挿入し、低重心化を実現、転がり案内方式採用により、 高速位置決め静停時間をミニマイズ。 露光機用、FPD用大型マスク加工、薄膜加工に最適なステージ。 ※詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社ファインディバイス
- 価格：応相談
エアースライダー超精密ステージ
ファインディバイスでは、お客様のご要求に合わせて、様々なステージコンポーネンツから最適なものを選択して、ステージを組み上げます。
リニアモーター駆動でエアベアリング採用加工点が低く、 角度変化を最小限に抑制。 マグネットムーブ採用により、移動負荷を極限まで低減。 対磨耗性、温度変化に対応するため、セラミック素材も選択可能。 ウェハーの加工や超短パルスレーザー搭載に 最適な超精密位置決めステージ。 ※詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社ファインディバイス
- 価格：応相談
