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スパッタ装置×北野精機株式会社 - 企業1社の製品一覧

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スパッタリング装置

スパッタリング装置

固体表面にイオン化して加速した原子あるいは分子を衝突させることにより、固体表面から固体材料が飛び出してくる現象(スパッタリング)を利用した成膜装置です。高融点金属や合金材料、誘電体、絶縁材料にも適用できる為に、工業的利用価値が高い。

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  • 試験機器・装置
  • その他実験器具・容器

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