高分解能 静電容量センサ
高分解能 静電容量センサ
標準品でレンジ10nm〜6000nm(6mm)まで対応!測定する材質を選びません!非導体でも測定できます。 ウェハーの厚み測定や精密な位置決め装置として使用されます。分解能0.2nmの高分解能で、超微細な測定に向いています!!
- 企業:翔栄システム株式会社
- 価格:応相談
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高分解能 静電容量センサ
標準品でレンジ10nm〜6000nm(6mm)まで対応!測定する材質を選びません!非導体でも測定できます。 ウェハーの厚み測定や精密な位置決め装置として使用されます。分解能0.2nmの高分解能で、超微細な測定に向いています!!
高温・真空・水油が飛び散るなど環境で活躍!高分解能渦電流変位センサ
高分解能で真空・高温環境にも対応! 金属の厚み測定や回転体の軸ブレ測定などに使用されます。 ピエゾアクチュエーターと組み合わせて使用すれば、精密位置決めも可能になります! 産業界や半導体業界で長く愛用されてきたLion社渦電流センサを 是非、一度お試しください!!