高分解能 静電容量センサ
高分解能 静電容量センサ
標準品でレンジ10nm〜6000nm(6mm)まで対応!測定する材質を選びません!非導体でも測定できます。 ウェハーの厚み測定や精密な位置決め装置として使用されます。分解能0.2nmの高分解能で、超微細な測定に向いています!!
- 企業:翔栄システム株式会社
- 価格:応相談
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高分解能 静電容量センサ
標準品でレンジ10nm〜6000nm(6mm)まで対応!測定する材質を選びません!非導体でも測定できます。 ウェハーの厚み測定や精密な位置決め装置として使用されます。分解能0.2nmの高分解能で、超微細な測定に向いています!!
高温・真空・水油が飛び散るなど環境で活躍!高分解能渦電流変位センサ
高分解能で真空・高温環境にも対応! 金属の厚み測定や回転体の軸ブレ測定などに使用されます。 ピエゾアクチュエーターと組み合わせて使用すれば、精密位置決めも可能になります! 産業界や半導体業界で長く愛用されてきたLion社渦電流センサを 是非、一度お試しください!!
シンプルプロープで、分解能0.2nmを実現しました!
シンプルプロープで分解能0.2nmを実現(レンジ・応答周波数毎に異なります)。測定対象物の材質を選びません(導体・半導体・非導体、何でも測定できます)。静電容量センサで6mmの長測定レンジを実現(Lion社でしか実現できないレンジ長です)。センサ出力の安定性を求める方にお勧めします。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。 ※こちらのカタログは英語のカタログになります。
水や油が飛び散る現場、恒温、真空中でも使用できます。
使用環境を選びません(水や油が飛び散る現場、高温、真空中でも使用できます)。金属であればどんな素材でも測定できます。渦電流センサで30nmの高分解能を実現。8種類の多様なレンジから選べます(カスタムレンジも可能です)。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。 ※こちらのカタログは英語のカタログになります。