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センサ(薄膜) - メーカー・企業と製品の一覧

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センサの製品一覧

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非接触厚み測定　光学センサ「CHRocodile 2シリーズ」

非接触厚み測定　光学センサ「CHRocodile 2シリーズ」

薄膜（数um)～厚膜(780um)まで高精度に測定できる幅広いプローブをラインナップ。ウエハ検査用途にも。

『CHRocodile 2シリーズ』は、サブミクロン分解能でウエハ厚のインプロセス測定が可能な非接触センサーです。 抜き取りでの品質管理にも使われています。半導体業界の他、コンシューマー家電、ガラス製造、メディカル分野で採用されており、透明体厚み、コーティング厚み測定、複数層の同時測定（最大16層）に適しています。 【特長】 　■幅広い厚み測定範囲 、様々な材質に対応 　　　豊富なプローブラインナップで、厚みは薄膜（数um)～厚膜(780um)までカバー。 　　　材質に合わせて二つの原理方式から選択可能。 　■高分解能（サブミクロン 最小1nm） 　　　「色収差共焦点方式」、「分光干渉方式」の原理による高分解能測定 　■開発コスト低減、開発納期短縮に貢献できる、 　　　装置組込み用のソフト開発キット（DLLなど)も用意 　■多業界で豊富な実績 　　　半導体業界、コンシューマー家電、ガラス製造、メディカル分野 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

  • センサ

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厚み測定 - 光学センサ『CHRocodile 2DWシリーズ』

厚み測定 - 光学センサ『CHRocodile 2DWシリーズ』

ドープウエハに適切な光源波長を使用し、難しいドープウエハ厚み測定に対応

『CHRocodile 2DWシリーズ』は、ウエハやコーティングなど材料厚みを非接触測定できる装置です。ドープウエハ測定にも対応でき、インラインでも適用可能で、多くのお客様へ実績があります。サファイア、Si、SiC等の半導体ウェハー厚み測定をはじめ、フイルム、樹脂、ガラス、太陽電池等の厚み測定も可能です。干渉膜厚最大16層まで対応しています。 【特長】 　■幅広い厚み測定範囲 、様々な材質に対応 　　　豊富なプローブラインナップで、厚みは薄膜（数um)～厚膜(780um)までカバー。ドープウエハ対応。 　■高分解能（サブミクロン 最小1nm） 　■開発コスト低減、開発納期短縮に貢献できる、 　　　装置組込み用のソフト開発キット（DLLなど)も用意 　■半導体業界で豊富な実績 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

  • その他計測・記録・測定器
  • センサ

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厚み測定-光学センサ『CHRocodile 2LR ver2』

厚み測定-光学センサ『CHRocodile 2LR ver2』

非接触の光学厚み測定。高精度が求められる半導体ウエハの厚み測定でも適用可能。

新製品『CHRocodile 2LR ver2』は、ウエハやコーティングなど材料厚みを非接触測定できる装置です。前回の『CHRocodile 2LR』と異なる新ディテクタを採用し、約２倍の厚み測定範囲、かつより高精度に測定できるようになりました。インラインでも適用可能で、CHRocodile 2LRは多くのお客様へ実績があります。Si等の半導体ウェハー厚み測定をはじめ、フイルム、樹脂、ガラス、太陽電池等の厚み測定も可能です。干渉膜厚最大16層まで対応しています。 【特長】 　■幅広い厚み測定範囲 、様々な材質に対応 　　　豊富なプローブラインナップで、厚みは薄膜（数32um)～厚膜(3900um)までカバー。(高精度な測定帯域は、16~1900um。線形性0.35um) 　■高分解能（サブミクロン 最小1nm） 　■開発コスト低減、開発納期短縮に貢献できる、 　　　装置組込み用のソフト開発キット（DLLなど)も用意 　■半導体業界で豊富な実績 ※詳しくは資料をご覧ください。

  • その他検査機器・装置
  • 膜厚計

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CHRocodile 2 SX 光学式広範囲厚み測定センサ

CHRocodile 2 SX 光学式広範囲厚み測定センサ

光学式センサで、Si0.5~200umの広範囲の厚み測定。5kHzの高速サンプリング。加工中のモニタリング用途に最適。

非接触の光学厚み測定。高精度が求められる半導体ウエハの厚み測定でも適用可能。 新製品『CHRocodile 2 SX』は、ウエハやコーティングなど材料厚みを非接触測定できる装置です。最大5kHzと高速サンプリングが可能なため、インラインでも適用できます。Si等の半導体ウェハー厚み測定をはじめ、フイルム、樹脂、ガラス、太陽電池等の厚み測定も可能です。特に、ウエハグラインディング中に厚みモニタリングしたい場合には、Siウエハで200um~0.5umまで測定ができます。 【特長】 　■幅広い厚み測定範囲 、様々な材質に対応 　　　豊富なプローブラインナップで、 厚みは、光学長で薄膜（数2um)～厚膜(1000um) 　　　　　　　Siで0.5~200umまで対応。 　■高分解能（サブミクロン 最小3nm @ 光学長） 　■開発コスト低減、開発納期短縮に貢献できる、 　　　装置組込み用のソフト開発キット（DLLなど)も用意 　■半導体業界で豊富な実績 ※詳しくは資料をご覧ください。

  • 膜厚計

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厚み測定 - 光学センサ『CHRocodile 2ITシリーズ』

厚み測定 - 光学センサ『CHRocodile 2ITシリーズ』

多種多様な材料の厚み測定、広い測定レンジから加工中と加工前後を1台で対応！ウエハ検査用途にも。

プレシテックの2ITシリーズは、分光干渉法を利用した非接触の厚み測定用センサでです。 高速・高精度な厚み測定を得意としており、ウエハ・フィルム・コーティング・エアギャップなどの 厚み測定・検査などに使用されています。 不純物/ドープウエハの測定も可能です。 その他の特長は、幅広い測定範囲 、大きな許容角度、様々な材質に対応できることです。 稼働ステージによるスキャンをせずに、面での測定が可能なエリアスキャナもあります。 半導体製造装置への搭載実績も多数あり、LCD製造装置、フィルムの厚みモニタリング/In-Situ/インライン検査でも使用されています。 また、スタンドアロンなどの卓上機の組み込み用センサとしても利用されています。 【アプリケーション】 ウエハ加工(研磨など）前後、加工中の厚み測定、フィルム/コーティング厚み測定、ガラスウエハ肉厚検査、ＴＴＶ，厚み分布、PCBコーティング厚み、バッテリー用ホイル厚み、ガラス厚み/、エアギャップなど。

  • IPROS39141432144901430068.jpeg
  • その他計測・記録・測定器
  • センサ

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CHRocodile 2DPS＋CHRocodile 2IT

CHRocodile 2DPS＋CHRocodile 2IT

半導体向けインプロセス中におけるウェハー厚み測定センサーのご紹介！

当資料は、ウェハー厚み測定センサーについて掲載しています。 接触ゲージとの置換に好適な「CHRocodile 2シリーズ」をはじめ、 半導体インプロセス向け光学測定ヘッドのデザインなどをご紹介。 ぜひ、ご一読ください。 【掲載内容】 ■CHRocodile 2シリーズ ■半導体インプロセス向け光学測定ヘッドのデザイン ■利点：色収差共焦点原理による使用 ■利点：分光干渉原理による使用 ■ウェハーインプロセス中のSi厚み測定データ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 光学測定器
  • センサ

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バッテリー製造及びそのコンポーネント検査向けセンサーのご紹介

バッテリー製造及びそのコンポーネント検査向けセンサーのご紹介

各センサーの測定原理や対応センサー、製品情報、使いやすさなどをご紹介！

当資料では、プレシテック・ジャパン株式会社で取り扱う、さまざまな コンポーネント検査向けセンサーの性能についてをご紹介しております。 「色収差共焦点シングルポイントセンサー」や「光学ポイントセンサー」 などの各センサーの測定原理や対応センサー、使いやすさなどを掲載。 当社では、レーザー材料加工や光学測定技術のためのインテリジェントで 信頼性の高いソリューションを提供しております。 【掲載概要】 ■色収差共焦点シングルポイントセンサーでの測定 ■色収差ラインセンサーでの形状及び厚み測定検査 ■溶接の品質管理 ■指定エリアの厚み、平坦度、形状のエリアスキャン測定 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • センサ
  • 溶接機械

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CHRocodile 2IT DW1000

CHRocodile 2IT DW1000

アナログI出力付！CHRocodile 2IT DW1000をご紹介します。

プレシテック・ジャパン株式会社が取り扱う 『CHRocodile 2IT DW1000』をご紹介します。 光源は、NIR SLD。 測定レンジは、80um～8200um(n=1)，20um～2000um(n=3.7)です。 また、5軸エンコーダーが付いています。 【製品スペック】 ■光源：NIR SLD ■測定レンジ：80um～8200um(n=1)，20um～2000um(n=3.7) ■外部トリガー、同期IO ■5軸エンコーダー付 ■Ethernet, RS422 ■アナログI出力付 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 光学測定器
  • その他計測・記録・測定器

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エリアスキャンセンサー『Flying Spot Scanner』

エリアスキャンセンサー『Flying Spot Scanner』

XYステージ不要！分光干渉原理による厚みと距離（変位）測定が可能！ウエハ検査用途にも。

『Flying Spot Scanner』は、分光干渉測定技術と高速スキャン システムを結合したスキャナです。 80mm径を高速スキャンしオフライン、インライン、品質管理に対応。 定義可能なスキャン形状とフィルタによる簡単な対象領域の検査ができます。 また、反射面でも良好な結果を得ることが可能です。 【特長】 ■超高速光学スキャン ■測定対象物と光学センサーは固定 ■XYステージ不要 ■分光干渉原理による厚みと距離（変位）測定 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • その他検査機器・装置
  • その他計測・記録・測定器
  • スキャナ

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【資料】CHRocodileシリーズのご紹介

【資料】CHRocodileシリーズのご紹介

非接触厚み及び形状計測センサーについて掲載しています！

当資料は、CHRocodileシリーズをご紹介しています。 「CHRocodileの測定原理」をはじめ、「干渉センサー」や 「CHROMATIC VISION CAMERA」などについて掲載。 ぜひ、ご一読ください。 【掲載内容(抜粋)】 ■CHRocodileの測定原理について ■原理1：共焦点位置測定モード(表面形状・粗さ測定) ■CLS外観 ■CLS用プローブ ■CLSコントローラー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 光学測定器
  • センサ

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プレシテック・ジャパン株式会社　会社案内

プレシテック・ジャパン株式会社　会社案内

レーザー材料加工および光学測定技術のスペシャリスト！

プレシテックは、レーザー材料加工および光学測定技術のスペシャリストです。 当社は、単なるシステムおよびコンポネントのサプライヤーではなく、 お客様の円滑な加工プロセスの専門的なパートナーです。 基礎段階からご相談に応じ、お客様と共にお客様の要望ならびに目的を 的確にコンサルトします。 これによって、お客様の用途に適切なソリューションを提供することができます。 【事業内容】 ■レーザーマテリアル加工 ■光学測定技術 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 光学測定器
  • レーザ部品

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【資料】非接触厚み及び形状計測センサー

【資料】非接触厚み及び形状計測センサー

測定例を多数掲載！CHRocodileの半導体向けアプリケーションをご紹介しています

当資料は、非接触厚み及び形状計測センサーについて掲載しています。 「CHROMATIC VISION CAMERAの原理」をはじめ、「測定例」や 「CHRocodileの特長と優位性」などについてご紹介。 ぜひ、ご一読ください。 【掲載内容(抜粋)】 ■白色光センサー ■CHRocodile C ■干渉センサー ■CHROMATIC VISION CAMERA ■FLYING SPOT SCANNER ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【資料】コンシューマー向けエレクトロニクス製造プロセス向け製品

【資料】コンシューマー向けエレクトロニクス製造プロセス向け製品

コンシューマー向け！色収差ラインセンサーによる形状及び厚み検査などを掲載しています

当資料は、コンシューマー向けエレクトロニクス製造プロセス向け製品の アプリケーション事例及びご提案を掲載しています。 光学ポイントセンサーによるサブミクロン精度による変位、形状、 厚み測定をはじめ、FSSによる平坦度、厚み、形状、縦と横の層と 部品配置の測定などについてご紹介しています。 ぜひご一読ください。 【掲載内容（抜粋）】 ■アプリケーション及び製品（インライン検査向けにデザイン） 　・光学シングルポイントセンサー＆プローブを使用した変位及び厚み測定 　・測定したいエリアをスキャン厚み、平坦度、形状 　・色収差ラインセンサーによる形状及び厚み検査 　・色収差ラインスキャンカメラによるキズ・欠陥寸法検査 　・溶接の品質管理 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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小型で安価な高精度光センサ『CHRocodile Mini』

小型で安価な高精度光センサ『CHRocodile Mini』

高精度・高速で、安価なシングルポイントセンサ。厚み・距離・高さ測定用に組込み可能なセンサ。半導体ウエハ検査用途にも最適。

『CHRocodile Mini』は、100万円以下の安価な光学式シングルポイントセンサです。高速・高精度な測定/検査が可能で、nm分解能の距離測定、最大4表面、3層厚みの同時測定もできます。粗面、鏡面、色付き材料など表面の状態に依らず計測ができ、測定レンジの範囲も広いセンサです。 【特長】 　■幅広い厚み測定範囲 、様々な材質に対応 　　　厚みは（45um)～厚膜(400mm)までカバー。(屈折率1.5の場合） 　　　距離センサとしては、600um, 4mm, 10mmの3種類の 　　　プローブラインナップ。 　■高分解能（ Zはサブミクロン、XYは数um~） 　■開発コスト低減、開発納期短縮に貢献できる、 　　　装置組込み用のソフト開発キット（DLLなど)も用意 　■多業界で豊富な実績 　　　半導体業界、コンシューマー家電、ガラス製造、メディカル分野

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  • 距離関連測定器
  • 試験機器・装置
  • 基板検査装置

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高精度かつ高速な形状測定を実現するセンサ

高精度かつ高速な形状測定を実現するセンサ

インライン検査に。70,000ポイント/秒のスキャンに対応。膜厚も測定可能。半導体ウエハ検査用途に。

当社では、最大直径80mmの3D形状測定が高速で行える 超高速光学スキャナー『Flying Spot Scanner(FSS)』と、 専用センサを組み合わせたシステムを提供しています。 平坦度、厚み、形状、縦と横の層と部品配置などを 高精度かつスピーディーに測定可能。 センサも幅広く取り揃えており、 要求される測定範囲や精度に合わせて選択できます。 【FSSの特長】 ■高精度：Z方向分解能最小5nm ■高速スキャン：70,000ポイント/秒 ■インライン測定に好適 ■測定範囲内なら自由に部分測定可能 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

  • センサ
  • その他検査機器・装置

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