ソーター×株式会社ウイング - 企業1社の製品一覧

6・8インチ用　ウェハソータ　W-ST-200A

6・8インチ用　ウェハソータ　W-ST-200A

8種類までのレシピ登録が可能な 6・8インチ用ウェハソータ 【特徴】 ○3軸円筒座標型ロボットにて、ウェハカセット間でウェハを移載 ○カセットは抜き取り用を含む3カセット仕様 ○番号に対するスロットの指定が可能 ○OCR、アライメントのON/OFFの設定が可能 ○クリーンルーム内での使用が可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

• 企業：株式会社ウイング
• 価格：応相談

• その他半導体製造装置