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チャンバ×株式会社コスモ・サイエンス - メーカー・企業と製品の一覧

チャンバの製品一覧

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真空チャンバー制作技術紹介

真空容器製作等にお困りの方は是非弊社まで!!

真空容器製作事例を紹介。真空設計製造ならお任せください!

  • その他半導体製造装置
  • その他機械要素

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真空装置設計・製作致します!

半導体・各種産業向けの蒸着装置、スパッタ装置、CVD装置等の成膜装置の設計・製作を行っております。

装置完成後の現地搬入、立ち上げ、稼動後の保守を含めたトータルでのサービスが可能な体制となっております。排気セット等のユニット単位での設計製作も行っております。各種実験装置の設計・製作に豊富な経験があり、仕様検討の段階よりお手伝いさせていただきます。

  • 半導体検査/試験装置

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真空容器事例「小型実験用チャンバー」

真空容器事例「小型実験用チャンバー」

真空容器製作事例 《フレキシブルな受注範囲》 チャンバーだけでなくプラズマ電源、スパッタターゲット、回転導入機構等を含む ユニットとしての対応が可能 《幅広い製作範囲》 材料(SUS,Al,Ti他)、形状(角型、筒型、水冷他) 《グレードに応じた表面処理》 1、酸洗浄:低コスト 2、電解研磨:SMC洗浄、サスピカ、アルピカの高グレード対応可能 3、バフ研磨、各種めっき、アルマイト処理 4、ベーキング 《検査内容》 浸透探傷検査、ヘリウムリークテスト、放出ガス測定、加圧テスト、寸法・外観その他 《短納期対応》 標準的なチャンバーであれば1ヶ月程度 《品質保証》 《低コスト》 必要な仕様に対応する適切な設計によるコスト低減 【制作例】 小型実験用チャンバー、実験用チャンバー、中性子加速器用チャンバー Ar雰囲気溶接用グローブボックス、液晶製造装置用チャンバー、蒸着装置用チャンバー など、実績はございますのでご相談ください。

  • 半導体検査/試験装置

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真空容器制作事例「実験用チャンバー」

真空容器制作事例のご紹介

チャンバーだけでなくプラズマ電源、スパッタターゲット、回転導入機構等を含ユニットとしての対応が可能

  • その他半導体製造装置

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