【クリーンルーム向け機構部品】パーティクルが発生しにくい部品
半導体・液晶製造装置向け機構部品
◆クリーンヒンジ HG-CV・HG-CV-65N型 摺動部に樹脂キャップを装着しており、金属同士の磨耗がありません。 ◆クリーンヒンジ HG-CV-127 摺動部に内蔵されたスラストベアリングとニードルベアリングが金属同士の磨耗を抑えます。 ◆クリーンマグネットキャッチ マグネットを樹脂で包んでいるため、錆を防止、金属粉が発生しません。 ◆クリーンステー 摺動部の樹脂パーツが金属同士の摩耗を防止し、さらに樹脂カバーにより金属粉の飛散を防止します。 ◆クリーンファスナー フック接触部に樹脂コーティングをほどこし、回転軸に樹脂ブッシュを使用しているため、金属同士の摩耗がなく、金属粉が発生しません。 ◆ハンドル MH-P型 SEMI規格準拠 PAT ・手袋を着けていてもつかみやすい形状です(SEMI規格、SEMI S8-0308に準拠)。 ・鉛フリーの塩化ビニル樹脂(PVC)を使用し、耐候性、耐薬品性に優れています。 ・その他SMI規格準拠製品もございます。 ※2020年4月時点の情報です。詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業:スガツネ工業株式会社 テクノフィールド事業部
- 価格:応相談