【事例紹介】成膜装置のプレヒート
【事例紹介】成膜装置のプレヒート
統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源による、成膜装置のプレヒートの事例紹介です。 真空環境下においても非接触・高速昇温性を持った ハロゲンランプヒータを使用することにより 半導体・FPD・太陽電池などの成膜工程において タクトタイム短縮に貢献することができる ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
- 企業:ウシオ電機株式会社
- 価格:応相談
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【事例紹介】成膜装置のプレヒート
統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源による、成膜装置のプレヒートの事例紹介です。 真空環境下においても非接触・高速昇温性を持った ハロゲンランプヒータを使用することにより 半導体・FPD・太陽電池などの成膜工程において タクトタイム短縮に貢献することができる ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
樹脂成形分野や半導体分野など!金型予備加熱や真空前水分除去に使用可能
『赤外線ハロゲンヒータ』は、優れた特性を活かして、樹脂成形分野をはじめ 自動車分野やPV分野、半導体分野など、さまざまな分野で利用されています。 シリコンやガラス、鋼鈑や炭素繊維などを加熱することが可能。 樹脂成形分野では、加熱対象はPET材や非球面レンズで、金型予備加熱や ペットボトル成型などに使用されています。 【特長】 ■高効率なエネルギー源 ■すばやい立ち上がり、立ち下がり ■光だからコントロール性が高い ■小型、クリーンな熱源 ■各種の配熱パターンや昇温スピードに対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。