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お客様のコスト削減に大きく貢献！MOCVD装置の構成部品をドライ洗浄することで再利用可能
株式会社エム・エー・シーテクノロジーの洗浄再生事業部では、 『ドライ洗浄サービス』を行っております。 市場が高まるGaNパワーデバイス・LED製造装置に使用している 構成パーツを、母材を傷めることのないサービスを展開。 MOCVD装置の構成部品をドライ洗浄することで再利用することが 可能になり、お客様のコスト削減に大きく貢献しています。 【対象材質品目】 ■石英 ■SiCコートカーボン ■SiC ■サファイア ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
母材・生成物の状況に応じて適切な薬剤を選定！アセンブリ化した部品も対応が可能です
株式会社エム・エー・シーテクノロジーの洗浄再生事業部では、 『精密洗浄サービス(ウェット洗浄)』を行っております。 半導体製造装置の部品を中心にこれまで培ってきた知識・経験を活かし、 母材・生成物の状況に応じて薬剤を選定し、ウェット洗浄サービスを展開。 また、イオン注入、スパッタ、CVD装置の構成部品を中心に精密洗浄を行い、 拡散炉、エッチング、リソグラフィ工程の精密洗浄も対応可能です。 【対象材質品目】 ■石英 ■セラミック ■ステンレス ■モリブデン ■タングステン等の各種金属や樹脂部品 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
