大気圧プラズマ装置
大気圧プラズマ装置
従来の減圧プラズマに加え、大気圧(常圧)プラズマを産学協同開発。熱非平衡の大気圧グロー放電プラズマのため、低温処理が可能です。
- 企業:ヤマトマテリアル株式会社
- 価格:応相談
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大気圧プラズマ装置
従来の減圧プラズマに加え、大気圧(常圧)プラズマを産学協同開発。熱非平衡の大気圧グロー放電プラズマのため、低温処理が可能です。
小型卓上タイププラズマ装置 PiPi(ピピ)
・スペースを取らず、研究・開発用途に最適 ・使いやすく簡単に処理ができる低コスト装置 ・推奨真空ポンプPD139 ・RIEモード専用