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プラズマ装置×ヤマトマテリアル株式会社 - 企業1社の製品一覧

製品一覧

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大気圧プラズマ装置

大気圧プラズマ装置

従来の減圧プラズマに加え、大気圧(常圧)プラズマを産学協同開発。熱非平衡の大気圧グロー放電プラズマのため、低温処理が可能です。

  • その他洗浄機
  • その他半導体製造装置
  • その他半導体

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プラズマ装置 PiPi(ピピ)

小型卓上タイププラズマ装置 PiPi(ピピ)

・スペースを取らず、研究・開発用途に最適 ・使いやすく簡単に処理ができる低コスト装置 ・推奨真空ポンプPD139 ・RIEモード専用

  • エッチング装置
  • アッシング装置
  • 表面処理受託サービス

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