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特殊タイプ 電動マニュアルプローバ MP-200B
ズーム顕微鏡を搭載！ 15インチ液晶カラーモニターを標準装備とした作業性重視のプローバ 【特徴】 ○作業距離が長く、作業効率が向上 ○ズームレンズ採用で位置ズレが無く観察しやすい ○電動Ｚステージを搭載 顕微鏡およびポジショナーを最大140ｍｍ退避させるため ワークの脱着が容易 ○再現性を考慮した微動位置決め構造 ○両手作業が可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
12インチ対応 セミオートプローバ SA-W300S
ベースにグラナイトを採用！ 高精度位置決めが可能なセミオートプローバ 【特徴】 ○ベースにグラナイト製石定盤を採用し、駆動モーターに リニヤシャフトモーターを搭載する事により バックラッシュ『0』の実現が可能 ○リニヤスケールの精度/分解能に見合った高精度位置決めが可能 ○マニュアルローダを搭載し、ウェハの着脱が容易 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
8インチ対応 マニュアルプローバ MP-200A
X-Yステージを搭載した 8インチ対応のマニュアルプローバ 【特徴】 ○X-Yステージを搭載 操作パネル上で早送りやジョグ送り等の簡単な遠隔操作が可能 ○測定ポイントまで素早く移動でき、操作性に優れる ○低価格、高精度、短納期を第一に考えた ユーザーニーズにマッチしたプローバ ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
