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様々な評価・解析用途に幅広く対応！温度特性評価や、高電圧デバイスの評価にもご使用になれます
『705C／MP-10C』は、エアベアリングステージ採用により、片手で簡単に 操作できるマニュアルプローバです。 3段切り替えレバーによるセーフティロック機構を搭載。 コンタクト時の操作ミスによるデバイスやプローブの損傷を防止します。 また、短時間でステージの位置合わせが可能で、測定効率が向上します。 【特長】 ■エアベアリングステージ採用により、片手で簡単操作できる ■3段切り替えレバーによるセーフティロック機構を搭載 ■コンタクト時の操作ミスによるデバイスやプローブの損傷を防止 ■パワーデバイスの沿面放電対策にも対応 ■短時間でステージの位置合わせが可能で、測定効率が向上 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ホットチャックを用いた温度依存特性評価ができる！測定効率が向上します
『708fT』は、ガードとシールドの三重構造により、fAレベルの微小電流測定が 可能な、8インチ微小電流測定用のマニュアルプローバです。 ガード構造の徹底で、低雑音・高精度測定を実現。 エアベアリングステージ採用により、片手で簡単に操作ができます。 また、3段切り替えレバーによるセーフティロック機構を搭載しており、 コンタクト時の操作ミスによるデバイスとプローブの損傷を防止します。 【特長】 ■ガードとシールドの三重構造により、fAレベルの微小電流測定ができる ■ガード構造の徹底で、低雑音・高精度測定を実現 ■簡易操作 ■安全設計 ■カスタマイズ可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
特殊タイプ 電動マニュアルプローバ MP-200B
ズーム顕微鏡を搭載！ 15インチ液晶カラーモニターを標準装備とした作業性重視のプローバ 【特徴】 ○作業距離が長く、作業効率が向上 ○ズームレンズ採用で位置ズレが無く観察しやすい ○電動Ｚステージを搭載 顕微鏡およびポジショナーを最大140ｍｍ退避させるため ワークの脱着が容易 ○再現性を考慮した微動位置決め構造 ○両手作業が可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
12インチ対応 セミオートプローバ SA-W300S
ベースにグラナイトを採用！ 高精度位置決めが可能なセミオートプローバ 【特徴】 ○ベースにグラナイト製石定盤を採用し、駆動モーターに リニヤシャフトモーターを搭載する事により バックラッシュ『0』の実現が可能 ○リニヤスケールの精度/分解能に見合った高精度位置決めが可能 ○マニュアルローダを搭載し、ウェハの着脱が容易 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
微小電流測定、ハイパワー測定に対応したセミオートプローバー！ それぞれ8、12インチまでのウエハサイズに対応です。
-60℃～+350℃の温度特性評価、微小電流測定 20ｋV以上、200A以上のパワーデバイス測定対応 ◎ドライエアを置換できるコンパクトシールド機構により、マイナス温度時も結露しません。 ◎コンパクトなシールドの効果により、安定した微小電流測定が可能です。 ◎オペレーターに分かり易く操作性に優れた制御ソフトです。 ◎画像認識を活かした自動ウエハアライメントや自動個別チップアライメント等を搭載できます。 ◎制御ソフトはオペレーターが操作に迷わないように工程順にアイコンを並べるなど、操作性に優れています。 ◎モデルを使用して、ウェハの角度調整、XY位置の微調整を行うウエハアライメント機能を有しています。 ◎ダイ原点位置の登録後、画像処理により、自動で特徴パターンを検出し、リファレンスモデルとして登録する機能を有しています。 ◎登録されたトレイ内に置かれた登録済みの個片チップを画像認識にて自動的に チップアライメントすることも可能です。（オプション） ◎ウエハの膨張などに対応するオートXYZを搭載できます。（オプション）
-60℃～+350℃の温度特性評価、微小電流測定に！マイナス温度時も結露しません
『AP-150／AP-200』は、それぞれ6、8インチまでのウエハサイズに対応した セミオートプローバーです。 コンパクトなシールドの効果により、安定した微小電流測定が可能。 ドライエアを置換できるコンパクトシールド機構により、マイナス温度時も 結露しません。 また、画像認識を活かした自動ウエハアライメントや自動個別チップ アライメント等を搭載できます。 【特長】 ■20kV以上、200A以上のパワーデバイス測定対応 ■それぞれ6、8インチまでのウエハサイズに対応 ■コンパクトなシールドの効果により、安定した微小電流測定が可能 ■オペレーターに分かり易く操作性に優れた制御ソフト ■自動ウエハアライメントや自動個別チップアライメント等を搭載できる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
プローブに必要な構成品を標準装備！コストパフォーマンスに優れたプロービングシステム
『TBシリーズ』は、省スペースで各種の計測目的に適したコストパフォーマンスに 優れたモデルのプローバです。 コンパクトなシールドボックスの中には試料台、マイクロポジショナ、 プローブ二ードル、信号用ケーブル、顕微鏡、除振台を標準装備。 プローブに必要な構成品があらかじめ含まれていますので、新たにプロービング環境を 構築する場合に比べて初期導入費用が安価で済みます。 【特長】 ■試料台、マイクロポジショナ、プローブ二ードル、信号用ケーブル、顕微鏡、 除振台を標準装備 ■新たにプロービング環境を構築する場合に比べて初期導入費用が安価 ■幅広くご使用いただけるコストパフォーマンスに優れたプロービングシステム ■コンパクトサイズのため、様々な用途、省設置スペースでの使用が可能 ■ホットチャック、各種先端径・材質のプローブなどのオプション品も豊富に用意 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
TDDB測定用プローバー
TDDB測定用専用プローバーです。 専用セラミックカードを使用すれば、8インチウエハー の全面一括コンタクト測定が可能で、測定時間の短縮に 大きく役立ちます。
１２インチマニュアルプローバー
12インチ対応のマニュアルプローバーです。 チャックを変える事により最大320×320の液晶基板対応 可能です。 オプションにてホットチャック搭載可能です。
わずかなデバイスの位置ずれを防ぎ、高倍率顕微鏡を使った時でも操作性が向上
「Model6200」は、プリント基板上のデバイスを直接プロービングするためのマニュアルプローバーです。 プローブベースプレートと顕微鏡をZ軸上方向に押しボタンのみで退避させるため、わずかなデバイスの位置ずれを防ぎ、高倍率顕微鏡を使った時でも操作性が向上しております。 そのため、部品と配線の多い大型試作配線基板でもチャッキングする事が可能となっております。 【標準構成例】 ○マニュアルプローバー：Model6200 ○顕微鏡：FS-70Z ○防振台：TAPC-56 ○マイクロマニュピレーター：XYZ-500 ○X-Yスキャナー：5010B 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
冷却ファンによる強制空冷で、すばやい降温！耐熱300℃、30分の耐熱プローブを使用
『MTP-100』は、温調ステージ付きの2針プローバーです。 試料を温度変化させての通電測定が可能。 安全カバー上部には、耐熱ガラスの窓が付いており、 顕微鏡などで試料観察もできます。 【特長】 ■温調ステージ付き ■試料を温度変化させての通電測定が可能 ■安全カバー上部には、耐熱ガラスの窓が付いている ■顕微鏡などで試料観察もできる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
