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様々な評価・解析用途に幅広く対応！温度特性評価や、高電圧デバイスの評価にもご使用になれます
『705C／MP-10C』は、エアベアリングステージ採用により、片手で簡単に 操作できるマニュアルプローバです。 3段切り替えレバーによるセーフティロック機構を搭載。 コンタクト時の操作ミスによるデバイスやプローブの損傷を防止します。 また、短時間でステージの位置合わせが可能で、測定効率が向上します。 【特長】 ■エアベアリングステージ採用により、片手で簡単操作できる ■3段切り替えレバーによるセーフティロック機構を搭載 ■コンタクト時の操作ミスによるデバイスやプローブの損傷を防止 ■パワーデバイスの沿面放電対策にも対応 ■短時間でステージの位置合わせが可能で、測定効率が向上 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ホットチャックを用いた温度依存特性評価ができる！測定効率が向上します
『708fT』は、ガードとシールドの三重構造により、fAレベルの微小電流測定が 可能な、8インチ微小電流測定用のマニュアルプローバです。 ガード構造の徹底で、低雑音・高精度測定を実現。 エアベアリングステージ採用により、片手で簡単に操作ができます。 また、3段切り替えレバーによるセーフティロック機構を搭載しており、 コンタクト時の操作ミスによるデバイスとプローブの損傷を防止します。 【特長】 ■ガードとシールドの三重構造により、fAレベルの微小電流測定ができる ■ガード構造の徹底で、低雑音・高精度測定を実現 ■簡易操作 ■安全設計 ■カスタマイズ可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
特殊タイプ 電動マニュアルプローバ MP-200B
ズーム顕微鏡を搭載！ 15インチ液晶カラーモニターを標準装備とした作業性重視のプローバ 【特徴】 ○作業距離が長く、作業効率が向上 ○ズームレンズ採用で位置ズレが無く観察しやすい ○電動Ｚステージを搭載 顕微鏡およびポジショナーを最大140ｍｍ退避させるため ワークの脱着が容易 ○再現性を考慮した微動位置決め構造 ○両手作業が可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
12インチ対応 セミオートプローバ SA-W300S
ベースにグラナイトを採用！ 高精度位置決めが可能なセミオートプローバ 【特徴】 ○ベースにグラナイト製石定盤を採用し、駆動モーターに リニヤシャフトモーターを搭載する事により バックラッシュ『0』の実現が可能 ○リニヤスケールの精度/分解能に見合った高精度位置決めが可能 ○マニュアルローダを搭載し、ウェハの着脱が容易 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
微小電流測定、ハイパワー測定に対応したセミオートプローバー！ それぞれ8、12インチまでのウエハサイズに対応です。
-60℃～+350℃の温度特性評価、微小電流測定 20ｋV以上、200A以上のパワーデバイス測定対応 ◎ドライエアを置換できるコンパクトシールド機構により、マイナス温度時も結露しません。 ◎コンパクトなシールドの効果により、安定した微小電流測定が可能です。 ◎オペレーターに分かり易く操作性に優れた制御ソフトです。 ◎画像認識を活かした自動ウエハアライメントや自動個別チップアライメント等を搭載できます。 ◎制御ソフトはオペレーターが操作に迷わないように工程順にアイコンを並べるなど、操作性に優れています。 ◎モデルを使用して、ウェハの角度調整、XY位置の微調整を行うウエハアライメント機能を有しています。 ◎ダイ原点位置の登録後、画像処理により、自動で特徴パターンを検出し、リファレンスモデルとして登録する機能を有しています。 ◎登録されたトレイ内に置かれた登録済みの個片チップを画像認識にて自動的に チップアライメントすることも可能です。（オプション） ◎ウエハの膨張などに対応するオートXYZを搭載できます。（オプション）
-60℃～+350℃の温度特性評価、微小電流測定に！マイナス温度時も結露しません
『AP-150／AP-200』は、それぞれ6、8インチまでのウエハサイズに対応した セミオートプローバーです。 コンパクトなシールドの効果により、安定した微小電流測定が可能。 ドライエアを置換できるコンパクトシールド機構により、マイナス温度時も 結露しません。 また、画像認識を活かした自動ウエハアライメントや自動個別チップ アライメント等を搭載できます。 【特長】 ■20kV以上、200A以上のパワーデバイス測定対応 ■それぞれ6、8インチまでのウエハサイズに対応 ■コンパクトなシールドの効果により、安定した微小電流測定が可能 ■オペレーターに分かり易く操作性に優れた制御ソフト ■自動ウエハアライメントや自動個別チップアライメント等を搭載できる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
ズームによる「ズレ」や「ブレ」をなくし、微細な回路でも高精度で、安定したプロービングを可能にするマニュアルプローバです。
高倍率金属顕微鏡を搭載したハイグレードモデルです。 【特長】 ◆重厚性のあるベース部、さらに、耐荷重性に優れたポジショナステージの装備 ◆数ミクロンオーダー、サブミクロンといった微細な回路に対して高精度で安定したプロービングが可能 ◆顕微鏡マウントに、X-Y稼動とクイックリフトを採用。セッティング、ポジショニングが容易 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせください。
プローブに必要な構成品を標準装備！コストパフォーマンスに優れたプロービングシステム
『TBシリーズ』は、省スペースで各種の計測目的に適したコストパフォーマンスに 優れたモデルのプローバです。 コンパクトなシールドボックスの中には試料台、マイクロポジショナ、 プローブ二ードル、信号用ケーブル、顕微鏡、除振台を標準装備。 プローブに必要な構成品があらかじめ含まれていますので、新たにプロービング環境を 構築する場合に比べて初期導入費用が安価で済みます。 【特長】 ■試料台、マイクロポジショナ、プローブ二ードル、信号用ケーブル、顕微鏡、 除振台を標準装備 ■新たにプロービング環境を構築する場合に比べて初期導入費用が安価 ■幅広くご使用いただけるコストパフォーマンスに優れたプロービングシステム ■コンパクトサイズのため、様々な用途、省設置スペースでの使用が可能 ■ホットチャック、各種先端径・材質のプローブなどのオプション品も豊富に用意 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
初期導入費用が安価で簡易に測定できる小型のマニュアルプローバです ポジショナ、顕微鏡、試料台から構成されます
雄山株式会社より「小型A3プローバ」のご案内です。 チップレベルからΦ50mmウェハにまで対応した、シンプルなA3サイズの小型マニュアルプローバです。スライド式のケースを閉めることで簡易的にシールド構造になります。顕微鏡とワーク位置が一定のためケースの開け閉めで視野が変わることがありません。 半導体の電気特性評価に最適です。
TDDB測定用プローバー
TDDB測定用専用プローバーです。 専用セラミックカードを使用すれば、8インチウエハー の全面一括コンタクト測定が可能で、測定時間の短縮に 大きく役立ちます。
１２インチマニュアルプローバー
12インチ対応のマニュアルプローバーです。 チャックを変える事により最大320×320の液晶基板対応 可能です。 オプションにてホットチャック搭載可能です。
わずかなデバイスの位置ずれを防ぎ、高倍率顕微鏡を使った時でも操作性が向上
「Model6200」は、プリント基板上のデバイスを直接プロービングするためのマニュアルプローバーです。 プローブベースプレートと顕微鏡をZ軸上方向に押しボタンのみで退避させるため、わずかなデバイスの位置ずれを防ぎ、高倍率顕微鏡を使った時でも操作性が向上しております。 そのため、部品と配線の多い大型試作配線基板でもチャッキングする事が可能となっております。 【標準構成例】 ○マニュアルプローバー：Model6200 ○顕微鏡：FS-70Z ○防振台：TAPC-56 ○マイクロマニュピレーター：XYZ-500 ○X-Yスキャナー：5010B 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
冷却ファンによる強制空冷で、すばやい降温！耐熱300℃、30分の耐熱プローブを使用
『MTP-100』は、温調ステージ付きの2針プローバーです。 試料を温度変化させての通電測定が可能。 安全カバー上部には、耐熱ガラスの窓が付いており、 顕微鏡などで試料観察もできます。 【特長】 ■温調ステージ付き ■試料を温度変化させての通電測定が可能 ■安全カバー上部には、耐熱ガラスの窓が付いている ■顕微鏡などで試料観察もできる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
縦型/横型構造パワーデバイスの電気特性評価に重点を置いた新型セミオートプローバー
8インチサイズウェハまで対応可能な高精度セミオートプローバーです。ローノイズ仕様により様々なアプリケーションに対応可能です。 自動測定に対応しております。
チップサイズから8インチウェハまで対応したVectorスタンダードモデルです
チップサイズから8インチウェハまで対応したVectorスタンダードモデルです。高低温DC測定・高周波測定・高速IV／パルスIV測定などさまざまな測定ソリューションの構築が可能です。
最大4インチまでのウェハに対応
最大4インチまでのウェハに対応 高温チャック搭載 パワーデバイス評価にも対応可能
最大12インチウェハ対応！低コストで、非常に小さなエリアでの設置が可能
当製品は、最大12インチウェハ対応の、高性能セミオートプローバーです。 「TS3000-SE」は、微小電流測定やセミオート機では難しかった、1/f測定 などの様々な測定に対応しておりながら、低コストで導入可能な革新的 モデルです。 チラーユニットを含め、非常に小さなエリアでの設置が可能です。 【特長】 ■「TS3000」 ・プローブカードとポジショナーの同時設定が可能 ・不良解析や信頼性試験、RF測定、ロードプル測定などに好適 ・広い開口を保持しながら低温環境下での測定にも対応 ■「TS3000-SiPH」 ・シリコンフォトニクスデバイスの特性評価用に設計 ・高い柔軟性の高精度ファイバーアライメントシステム ・安全な動作が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高い測定精度とオートメーション機能搭載！正確な校正が可能なプローバー
当社では、『フルオートシステム』を取り扱っています。 「TS2500-RF」は、オンウェハRF測定のために設計された 新型フルオートプローブシステムです。 最大200mmサイズウェハに対応しており、室温から最大300℃の温度範囲で 低ノイズ、低リーク測定が可能です。 この他に、12インチウェハ対応の「TS3500/TS3500-SE」もご用意しております。 【特長】 ＜TS2500-RF＞ ■67GHzまでのプローブを4port搭載可能 ■DC-IV/DC-CV/Pulsed-IVなど様々な測定にも対応 ■最小50umまでのウェハを取り扱うことが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
大電流/高電圧プロービングが可能！ウェハ両面（ダブルサイド）へのコンタクトを実現
『PCP-102WS』は、ウェハ両面（ダブルサイド）へのコンタクトを目的とした 高精度プローバです。 当社独自のXY位置補正機能とプロファイリング機能を採用することで、 ウェハの反りに対しても効果的な位置補正が可能。 ウェハ裏面のドレイン側でケルビン接続を行い、そのドレインセンス位置と ウェハ表面のソースセンス位置とを合わせることで正確なRDS（on)（オン抵抗）の 測定をすることができます。 【特長】 ■セラミックブレードによるウェハクランプ方式により、 大電流/高電圧プロービングが可能 ■1チップ内の複数ポイントでプロービングが可能 ■鉄定盤、溶接フレームによる高剛性筐体を採用し、低振動化を実現 ■ローコスト、ハイスループット ■小スペース（フットプリント）、省電力設計 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
研究開発用コンパクト低価格モデルから生産用フルオートモデルまで！多彩な展開で魅せる、磁場印加プローバ。
マグネット搭載を考慮した非磁性プローバのパイオニアとして、デバイスの測定目的を考慮し機能を充実しています。 磁気センサ、磁気メモリ（MRAM）、HDDなど、それぞれの測定デバイス・測定技術に適したモデルをラインナップ。 テスター製作も自社で行っており、ユーザーベースの最適ユニットを構築し開発から生産まで一貫した計測システムを提供いたします。 【製品ラインナップ】 ・垂直磁界プローバ ・全方位磁界プローバ ・簡易プローバ ・温度プローバ ・マニュアルプローバ ・セミオートプローバ ・フルオートプローバ ・電子コンパスフルオートプローバ ・TMR評価用高周波プローバ など
小型TMP排気セット装備！最大4プローブまで増設可能なプロービングシステムです
当製品は、軽量化のため、ベースはアルミ材を使用している、上下に 真空吸着付きの『恒温真空プローバー』です。 温調はサイクル制御2系統。 ステージ部が温調機能があり、真空雰囲気・ガス雰囲気・温度可変といった 環境下で測定ができるシステムとなってます。 【特長】 ■最大4プローブまで増設可能 ■ステージ部が温調機能があり、真空雰囲気・ガス雰囲気・温度可変といった 環境下で測定ができる ■上下に真空吸着付き ■軽量化のため、ベースはアルミ材を使用 ■温調はサイクル制御2系統 ※詳しくは外部リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
汎用性の高い150mm(6インチ)マニュアル・プローバー
デバイス評価、モデリング、WLR、故障解析、IC設計、MEMSなど幅広いアプリケーションに対応しております。
高精度 高信頼性 ハイパワー測定用200mmオート・プローバー
高電圧、大電流（10kV/600A）アプリケーション用途に開発された一台
高精度 高信頼性 IV、CV、パルスドIV、1/f、RF測定用200mmオート・プローバー
デバイスモデリング、RFおよびミリ波測定、WLR、故障解析などオンウェハーの多様なアプリケーションに対応した200mmオート・プローバー。 日本における代理店: ベクターセミコン株式会社 東京都荒川区西日暮里2-43-2 TEL 03-5604-1701 FAX 03-5604-1707
高精度 高信頼性 IV、CV、パルスドIV、1/f、RF測定用300mmオート・プローバー
デバイスモデリング、RFおよびミリ波測定、WLR、故障解析などオンウェハーの多様なアプリケーションに対応した300mmオート・プローバー 日本における代理店: ベクターセミコン株式会社 東京都荒川区西日暮里2-43-2 TEL 03-5604-1701 FAX 03-5604-1707
従来のプローバーから大幅にサイズダウン、価格を下げたウルトラローコストプローバー。
従来のサイズから小型化を求めた省スペースタイプのプローバーになります。スループットの大幅な改善と光学の技術によるウェハーアライメント、また、テストアプリケーションを介し、プローバー機能とテスト機能に効率よくアクセスすることにより、ソフトウェアの開発期間を大幅に短縮します。
