高い測定精度とオートメーション機能搭載！正確な校正が可能なプローバー
当社では、『フルオートシステム』を取り扱っています。 「TS2500-RF」は、オンウェハRF測定のために設計された 新型フルオートプローブシステムです。 最大200mmサイズウェハに対応しており、室温から最大300℃の温度範囲で 低ノイズ、低リーク測定が可能です。 この他に、12インチウェハ対応の「TS3500/TS3500-SE」もご用意しております。 【特長】 ＜TS2500-RF＞ ■67GHzまでのプローブを4port搭載可能 ■DC-IV/DC-CV/Pulsed-IVなど様々な測定にも対応 ■最小50umまでのウェハを取り扱うことが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【特長】 ＜TS3500/TS3500-SE＞ ■人間工学的なローディングのための5つの個別トレイで設計 ■MPIのウェーハウォレット測定機能を損なうことなく、 「TS3500」シリーズのオートメーションを拡張 ■異なる温度で5枚までの同一ウェーハを用いた全自動テストが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■オンウェハRF測定 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
ベクターセミコン株式会社は、東京都荒川区にある半導体、液晶パネル業界向けの研究開発用に特化したプローバの製造、販売、サービスを行っている会社です。 半導体解析装置をはじめ、セミオートプローバーや温度コントロールシステム、その他解析装置などを取り扱っております。
