コストパフォーマンスに優れ、安全面にも考慮したハイパワー測定システム
当社では、『パワーデバイス評価用プローバー』を取り扱っています。 「TS150-HP/TS200-HP」は、10kV耐圧測定・250A（パルス）電流測定など、 パワーデバイス測定に特化したマニュアルプローバーです。 最大10kV耐圧仕様の300℃サーマルチャックシステムを搭載できます。 この他に、コストパフォーマンスに優れた「TS2000-DP」や、安全機構を 搭載した「TS2000-HP」もご用意しております。 【特長】 ■パワーデバイス測定に特化したマニュアルプローバー ■チップサイズから最大6インチウェハサイズまで対応（TS150-HP） ■チップサイズから最大8インチウェハサイズまで対応（TS200-HP） ■安全を考慮した測定環境を構築可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【その他の特長】 ■TS2000-DP ・最大3kV/10kVや600A（パルス）のパワーデバイスオンウェハ測定が可能 ・コストパフォーマンスに優れる ・チャックとプローブプラテンの間のアーク放電を防止 ■TS2000-HP ・最大10kV/600Aまでの測定に対応 ・ライトカーテンやインターロックなど充実した安全機構を搭載 ・パワーデバイス測定に適した仕様のセミオート機 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■最大30kV/100A(パルス）測定 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
ベクターセミコン株式会社は、東京都荒川区にある半導体、液晶パネル業界向けの研究開発用に特化したプローバの製造、販売、サービスを行っている会社です。 半導体解析装置をはじめ、セミオートプローバーや温度コントロールシステム、その他解析装置などを取り扱っております。
