小型TMP排気セット装備!最大4プローブまで増設可能なプロービングシステムです
当製品は、軽量化のため、ベースはアルミ材を使用している、上下に 真空吸着付きの『恒温真空プローバー』です。 温調はサイクル制御2系統。 ステージ部が温調機能があり、真空雰囲気・ガス雰囲気・温度可変といった 環境下で測定ができるシステムとなってます。 【特長】 ■最大4プローブまで増設可能 ■ステージ部が温調機能があり、真空雰囲気・ガス雰囲気・温度可変といった 環境下で測定ができる ■上下に真空吸着付き ■軽量化のため、ベースはアルミ材を使用 ■温調はサイクル制御2系統 ※詳しくは外部リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様(抜粋)】 ■チャンバーサイズ:φ220XH108(外寸) ■付属ポート:NW40X4、NW25X2 BNC用X2 φ6.35チューブ継ぎ手X2 ■プローバー(接続NW40):2個 ■上部観察窓:1個 ■温調ステージ(30X30):1個 ■ベース寸法:588X588mm ■ステージ温調ユニット:シリコンオイル循環 加熱、冷却切り替え ■循環油温:加熱側は温調器設定。冷却側はボックスクーラー(オプション)投げ込み ■循環油量:最大0.8L/分 ※詳しくは外部リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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