TS3000-SE-300mmオートプローバー

基本情報

オンウェハーの多様なアプリケーションに対応 ・デバイスモデリング: DC-IV, DC-CV, パルスドIV ・RFおよびミリ波 : 26～110 GHz帯/110 GHz以上 ・WLR: 高温/低温/ストレス試験 ・故障解析: プローブ・カード/内部ノードテスト MPI独自ShielDEnvironmentチャンバー ・優れたEMI/RFIシールド、遮光環境により理想的な1/fノイズ測定結果を導き出します ・fAレベルの微小電流測定が可能 ・広温度範囲(60℃～300℃)対応 ・ウェハーを簡単に前面よりロード可能。自動測定用の側部よりのローダー(プリアライメント) ・Vertical Control Environment (VCE)技術によりプローブ先端を側面から観察することが可能になり、安全なオペレーションが可能 ・一体型アクティブ防振機構 ・Safety Test Management (STM?)機能によりすべての温度においてウェハーのロード/アンロードを可能に、また露点を自動制御(オプション)

価格情報

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納期

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用途／実績例

12インチ(300mm)高性能オート・プローバー

詳細情報

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  PRIME温度チャック チラーのプローバーとの統合によりTS3000シリーズは省スペースな設計で、狭い実験室などでも使用できます。 MPIとERS社が共同設計した300mm温度チャックPRIMEチャックは優れた柔軟性をもち従来の温度チャックに比べ温度が安定するまでの時間が従来の60%まで短くなりました。 さらに優れた電気特性、不活性ガス環境、フィールドアップグレード可能など選定いただくための多くの利点があります。

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  ShielDCap(DCポジショナ) ShielDEnvironmentは、プローバー自身に設置された高性能な環境チャンバーで、超低ノイズ、低キャパシタンス測定に必要なEMIシールド、遮光環境を実現します。 DC/ケルビンポートを最大8ポートまで搭載可能。 ShielDCapは簡単に取り外しができ、さらにEMIシールド対応のプローブ・カード・ホルダにも容易に交換でき、作業効率に貢献します。

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  ShildCap(RFポジショナ) ShielDEnvironmentは、RF4ポートまで搭載可能です。

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  ERS社AC３冷却技術を採用 温度チャックはERSが特許を持つERS社AC3 冷却技術を採用しており、ShielDEnvironment内の空気をパージする際、「使用済」ドライエアを利用することにより他社のプローバーと比較して、ドライ・エアの消費量を30～50％も削減することが可能となりました。