高精度 高信頼性 IV、CV、パルスドIV、1/f、RF測定用200mmオート・プローバー
デバイスモデリング、RFおよびミリ波測定、WLR、故障解析などオンウェハーの多様なアプリケーションに対応した200mmオート・プローバー。 日本における代理店: ベクターセミコン株式会社 東京都荒川区西日暮里2-43-2 TEL 03-5604-1701 FAX 03-5604-1707
この製品へのお問い合わせ
基本情報
オンウェハーの多様なアプリケーションに対応 ・デバイスモデリング: DC-IV, DC-CV, パルスドIV ・RFおよびミリ波 : 26～110 GHz帯/110 GHz以上 ・WLR: 高温/低温/ストレス試験 ・故障解析: プローブ・カード/内部ノードテスト MPI独自ShielDEnvironmentチャンバー ・優れたEMI/RFIシールド、遮光環境により理想的な1/fノイズ測定結果を導き出します ・fAレベルの微小電流測定が可能 ・広温度範囲(60℃～300℃)対応 人間工学に基づいた設計 / オプション ・ウェハーを簡単に前面よりロード可能。自動測定用の側部よりのローダー(プリアライメント) ・Vertical Control Environment (VCE) 技術によりプローブ先端を側面から観察することが可能になり、安全なオペレーションが可能 ・一体型アクティブ防振機構 ・Safety Test Management (STM)機能によりすべての温度においてウェハーのロード/アンロードを可能に、また露点を自動制御(オプション)
価格情報
別途お問合せください
納期
※別途お問合せください
用途／実績例
8インチ(200mm)高性能オート・プローバー
詳細情報
-
ShielDCap(DCポジショナ) ShielDEnvironmentは、プローバー自身に設置された高性能な環境チャンバーで、超低ノイズ、低キャパシタンス測定に必要なEMIシールド、遮光環境を実現します。 DC/ケルビンポートを最大8ポートまで搭載可能。 ShielDCapは簡単に取り外しができ、さらにEMIシールド対応のプローブ・カード・ホルダにも容易に交換でき、作業効率に貢献します。
-
ShildCap(RFポジショナ) ShielDEnvironmentは、RF4ポートまで搭載可能です。
-
シングル・ウェハー・ローダー 高/低温時のウェハー交換が可能に 安全設計されたプリアライメント機能付きシングル・ウェハー・ローダーによりどの温度でもウェハーをロード/アンロードすることが可能となりました。常温まで温度を上げたり下げたりする必要がなくなりました。これにより測定ダウンタイムを大幅に省くことが可能です。
-
ERS社AC３冷却技術を採用 温度チャックはERSが特許を持つERS社AC3 冷却技術を採用しており、ShielDEnvironment内の空気をパージする際、「使用済」ドライエアを利用することにより他社のプローバーと比較して、ドライ・エアの消費量を30～50％も削減することが可能となりました。
カタログ（1）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
MPI AST事業部は研究開発用プローバーおよび高周波プローブ関連製品を取り扱っております。 ・デバイス・モデリング、 RF /ミリ波、WLR、ハイパワー、不良解析における50年相当の豊富な経験 ・将来を見据えた斬新な考え ・WWでのお客様、協業者とのパートナーシップ を主軸にお客様のご要望に合った製品を提供してまいります。 日本における代理店: ベクターセミコン株式会社 東京都荒川区西日暮里2-43-2 TEL 03-5604-1701 FAX 03-5604-1707
