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広範囲なコンタクトエリア！短時間でステージの位置合わせが可能で、測定効率が向上します
『705A-WG7』は、大型ステージの搭載により、12インチウェーハ、 FPD基板の不良解析やTEG評価に対応できる評価・解析用マニュアルプローバです。 スライドテーブルの採用により、広範囲なプロービングエリアを確保。 また、エアベアリングステージ採用により、片手で簡単に操作可能です。 さらに各種顕微鏡、レーザーカッターシステムの搭載など、使用目的に 合わせたカスタマイズが可能です。 【特長】 ■大型基板対応 ■12インチウェーハ、FPD基板の不良解析やTEG評価に対応 ■スライドテーブルの採用により、広範囲なプロービングエリアを確保 ■エアベアリングステージ採用により、片手で簡単に操作可能 ■3段切り替えレバーによるセーフティロック機構を搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
カスタマイズ対応！半自動操作、手動操作とも容易で、測定効率向上に寄与します
『AP-80A』は、ガード構造の徹底で、低雑音・高精度測定を実現した 微小電流測定用セミオートプローバです。 ガード電位技術を活用した構造により、fAレベルの微小電流測定が可能。 外部自動制御とジョイスティック(移動モード6種類)の手動操作ができます。 また、パワーデバイスにも対応可能なほか、使用目的に合わせた カスタマイズが可能です。 【特長】 ■低雑音・高精度測定を実現 ■簡易操作 ■ガード電位技術を活用した構造により、fAレベルの微小電流測定が可能 ■外部自動制御とジョイスティック(移動モード6種類)の手動操作ができる ■主要な測定器メーカーのシステムおよびソフトウェアに標準対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
8インチ対応 マニュアルプローバ MP-200A
X-Yステージを搭載した 8インチ対応のマニュアルプローバ 【特徴】 ○X-Yステージを搭載 操作パネル上で早送りやジョグ送り等の簡単な遠隔操作が可能 ○測定ポイントまで素早く移動でき、操作性に優れる ○低価格、高精度、短納期を第一に考えた ユーザーニーズにマッチしたプローバ ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
快適な操作性にこだわったマニュアルプローバー！光学系は3種から選択可能！
『αシリーズ』は、快適な操作性で評価・解析の幅広いニーズに対応する マニュアルプローバーです。 ステージや光学系は複数の種類から選択可能。 前明きの形でウエハーのロード・アンロードも容易に行えます。 レバーの操作で3段アクションのZドライブが可能。 位置合わせはウエハーから約300μm針を離して行うため、 顕微鏡の焦点からはずれずにステージが移動できます。 【特長】 ■選べるステージ/光学系 ■Zは3段階切り替え ■ステージ移動が簡単 ■確実なアライメント ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
極低温～超高温での温度特性評価、真空環境、ガス環境測定
◎非常に小型なので机上で容易に測定が可能です。 ◎真空中でも外部操作型ポジショナ（プローブ）で移動ができます。 ◎シールド効果が抜群で、光・ノイズをシャットアウトします。 ◎MJ-8はホール効果測定を考慮した薄型です。
コンパクトサイズ、軽量で持ち運びも容易！微小容量CV測定、高周波測定等にご使用下さい
『MBP-55』は、チップレベルのIV/CV測定に適したコンパクトな プローバーです。 50mm□までのサンプルサイズに対応。 シールドボックスまで装備した一体型です。 また、微小電流IV、微小容量CV測定、高周波測定に対応します。 さらにコンパクトサイズ、軽量で持ち運びも容易です。 【特長】 ■チップレベルのIV/CV測定に好適 ■50mm□までのサンプルサイズに対応 ■シールドボックスまで装備した一体型 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
光半導体プローバー
面発光レーザー（VCSEL)、フォトダイオード（PD/APD）をウェハー状態でプロービングして測定・検査する装置です。 ■ VCSEL ・ I-L-V測定 ・ V-I測定 ・ 波長測定 ・ 高周波特性 ■ PD/APD ・ V-I測定（暗電流、光電流） ・ 高周波特性 ■ 特徴 ・光軸合わせのピークサーチ機能 ・フリッピチップ対応の裏面コンタクト ・測定項目、内容はお客様の仕様に対応してソフトウェアを カスタマイズいたします。
SEM、FIB、光学顕微鏡観察下でのナノ/マイクロ マニピュレーション・プロービングに最適
UP-100UはナノメートルレベルでXYZ3軸および回転軸の動作が可能なマニピュレータ/プローバです。市販のSEM/FIB/光学顕微鏡と組み合わせることにより、マイクロ/ナノメータスケールでのマニピュレーション/プロービングなど様々な用途に利用できます。
OYM-401は実体顕微鏡に対応したマニュアルプローバです。複数台のポジショナを搭載し、容易にプロービングが行えます。
ＯＹＭ−４０１は使いやすさを最優先した操作部がシンプルなベーシックモデルです。 【特長】 ◆ＩＣのパッドを対象にしたプロービングに適した、実体顕微鏡をセットアップ したモデル ◆標準で８インチストロークのＸ−Ｙステージを装備 ◆オプションとしてプローブカードホルダ、ホットチャックといった各装備の 設置が可能 ※詳細は『資料請求』まで
初期導入費用が安価！蓋を閉めるだけでシールドとなり、微小電流の測定が可能。ポジショナ、顕微鏡を搭載できるマニュアルプローバです。
雄山株式会社より「簡易シールドボックスプローバ」のご案内です。
単体でシールド環境が構築できるマニュアルプローバです。小型のポジショナを搭載し、省スペースで高シールドな測定環境を整えます。
雄山株式会社より「シールディングプローバ」のご案内です。
4探針法によるシート抵抗測定システムです
コンパクトに形成された四点プローブシステムは、半導体/液晶基板、太陽電池セル、ならびに導電性薄膜等の研究開発・検査工程・製造ラインにおいて、多様化する電子材料の抵抗率、 シート抵抗値 を四探針法により迅速かつ高精度に測定します。
マニュアルプローバー
信頼性試験やデバイス特性評価用に最適な 8インチ対応のマニュアルプローバーです。 その他、6インチ、12インチ対応のマニュアルプローバーもラインナップしております。
ユーザーのあらゆる要望にも簡単に対応できます。
国内メーカーで初めて製品化した１２“ウェハー対応セミオートプローバーです。
低コストで導入可能な革新的モデル！多彩なアプリケーションに対応
当製品は、様々な測定ニーズに対応するセミオートプローバーです。 「TS2000-SE」は、高性能、超低ノイズ、高精度でありながら テストコスト削減のもとに設計されました。 微小電流測定、高い信頼性のDC/IV測定、1/f測定、RF測定、パワーデバイス 測定など、すべてにおいて最高クラスのパフォーマンスを発揮します。 【特長】 ＜TS2000-SE＞ ■最大8インチウェハに対応 ■EMI対策、RFI対策、遮光に優れた設計 ■ウェハのロード・アンロードを自動で行う ■最大-60℃～300℃の温調が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
コストパフォーマンスに優れ、安全面にも考慮したハイパワー測定システム
当社では、『パワーデバイス評価用プローバー』を取り扱っています。 「TS150-HP/TS200-HP」は、10kV耐圧測定・250A（パルス）電流測定など、 パワーデバイス測定に特化したマニュアルプローバーです。 最大10kV耐圧仕様の300℃サーマルチャックシステムを搭載できます。 この他に、コストパフォーマンスに優れた「TS2000-DP」や、安全機構を 搭載した「TS2000-HP」もご用意しております。 【特長】 ■パワーデバイス測定に特化したマニュアルプローバー ■チップサイズから最大6インチウェハサイズまで対応（TS150-HP） ■チップサイズから最大8インチウェハサイズまで対応（TS200-HP） ■安全を考慮した測定環境を構築可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
独自の測定方式を採用して､生産効率を大幅に向上させることに成功しました
NPB-600Aは､ダイシングされたLEDチップ(素子)を､光学･電気特性検査､及び外観画像検査する装置です。測定及び外観検査はもちろん､ウエハの交換も全て自動で行います｡独自の測定方式を採用して､生産効率を大幅に向上させることに成功し､サイクルタイムはMax0.07秒/個を実現しました｡ 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
・直接サンプルに熱を与える温度勾配生成ユニット搭載 ・顕微赤外カメラユニット搭載
簡易型室温プローバーにサンプルの一部に熱を加え温度勾配を生成できるユニット、及びに観察のため顕微赤外カメラユニットを搭載した特注システム
高真空仕様の加熱マイクロプローバ！加熱温度は最大500℃で、10mm形状の サンプル加熱に対応します！
『HMP-100』は、排気系により＜10^-4Paでの使用が可能な高真空仕様の 加熱マイクロプローバです。加熱温度は最大500℃で、10mm形状の サンプル加熱に対応します。TRIAXコネクタを採用することにより 1pA以下の電気測定が可能です。 【特長】 ■高真空仕様 排気系により＜10^-4Paでの使用可能 ■加熱温度 最大500℃対応 10mm形状のサンプル加熱対応 ■低電流測定 TRIAXコネクタを採用することにより1pA以下の電気測定が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
IV/CV､パルスドIV､1/fノイズ､RF測定用フルオートオプションWaferWallet搭載可能300mmオート・プローバ
デバイスモデリング、RFおよびミリ波測定、WLR、故障解析などオンウェハーの多様なアプリケーションに対応した300mmオート・プローバー。フルオート・プローバーにアップグレード可能なWaferWalletオプション搭載可能機種 日本における代理店: ベクターセミコン株式会社 東京都荒川区西日暮里2-43-2 TEL 03-5604-1701 FAX 03-5604-1707
fAレベルの微小電流測定が可能な高性能セミオートプローバ
■微小電流測定 ・ガード電位技術を活用した構造により、fAレベルの微小電流測定が可能 ・低雑音・高精度測定を実現 ■簡易操作 ・外部自動制御とジョイスティック(移動モード6種類)の手動操作が可能 ※半自動操作、手動操作とも容易で、測定効率向上に寄与します。 ■主要な測定器メーカーのシステムおよびソフトウェアに標準対応 ・キーサイト・テクノロジー （B1500A半導体デバイス・パラメータ・アナライザ・EasyEXPERT） ・ケースレーインスツルメンツ （ACS(測定ソフト)搭載システムおよび測定器） ※その他の測定器制御、ソフトウェアのカスタム対応可能 ■多彩なオプション・カスタマイズ対応 ・ホットチャック（+40℃～＋200℃）を用いた温度依存特性の評価に対応 ・プローブカードアダプタの使用により、微小電流用プローブカードを搭載可能 ・使用目的に合わせてカスタマイズ対応可能
小型軽量！実体顕微鏡標準スタンドが使用できるマニュアルプローバ
『LP-1』は、位置合わせが迅速に行える1インチタイプの マニュアルプローバです。 オプションにより、実体顕微鏡、トライアキシャルチャック、 ホットチャックも装着することができます。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■1インチサイズウエハープロービング ■位置合わせが迅速に行える ■針圧のオーバードラブ量の設定ができる ■大きさ、重さともコンパクトなため装置の移動が簡単 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
