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わずかなデバイスの位置ずれを防ぎ、高倍率顕微鏡を使った時でも操作性が向上
「Model6200」は、プリント基板上のデバイスを直接プロービングするためのマニュアルプローバーです。 プローブベースプレートと顕微鏡をZ軸上方向に押しボタンのみで退避させるため、わずかなデバイスの位置ずれを防ぎ、高倍率顕微鏡を使った時でも操作性が向上しております。 そのため、部品と配線の多い大型試作配線基板でもチャッキングする事が可能となっております。 【標準構成例】 ○マニュアルプローバー：Model6200 ○顕微鏡：FS-70Z ○防振台：TAPC-56 ○マイクロマニュピレーター：XYZ-500 ○X-Yスキャナー：5010B 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
冷却ファンによる強制空冷で、すばやい降温！耐熱300℃、30分の耐熱プローブを使用
『MTP-100』は、温調ステージ付きの2針プローバーです。 試料を温度変化させての通電測定が可能。 安全カバー上部には、耐熱ガラスの窓が付いており、 顕微鏡などで試料観察もできます。 【特長】 ■温調ステージ付き ■試料を温度変化させての通電測定が可能 ■安全カバー上部には、耐熱ガラスの窓が付いている ■顕微鏡などで試料観察もできる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
縦型/横型構造パワーデバイスの電気特性評価に重点を置いた新型セミオートプローバー
8インチサイズウェハまで対応可能な高精度セミオートプローバーです。ローノイズ仕様により様々なアプリケーションに対応可能です。 自動測定に対応しております。
チップサイズから8インチウェハまで対応したVectorスタンダードモデルです
チップサイズから8インチウェハまで対応したVectorスタンダードモデルです。高低温DC測定・高周波測定・高速IV／パルスIV測定などさまざまな測定ソリューションの構築が可能です。
最大4インチまでのウェハに対応
最大4インチまでのウェハに対応 高温チャック搭載 パワーデバイス評価にも対応可能
最大12インチウェハ対応！低コストで、非常に小さなエリアでの設置が可能
当製品は、最大12インチウェハ対応の、高性能セミオートプローバーです。 「TS3000-SE」は、微小電流測定やセミオート機では難しかった、1/f測定 などの様々な測定に対応しておりながら、低コストで導入可能な革新的 モデルです。 チラーユニットを含め、非常に小さなエリアでの設置が可能です。 【特長】 ■「TS3000」 ・プローブカードとポジショナーの同時設定が可能 ・不良解析や信頼性試験、RF測定、ロードプル測定などに好適 ・広い開口を保持しながら低温環境下での測定にも対応 ■「TS3000-SiPH」 ・シリコンフォトニクスデバイスの特性評価用に設計 ・高い柔軟性の高精度ファイバーアライメントシステム ・安全な動作が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高い測定精度とオートメーション機能搭載！正確な校正が可能なプローバー
当社では、『フルオートシステム』を取り扱っています。 「TS2500-RF」は、オンウェハRF測定のために設計された 新型フルオートプローブシステムです。 最大200mmサイズウェハに対応しており、室温から最大300℃の温度範囲で 低ノイズ、低リーク測定が可能です。 この他に、12インチウェハ対応の「TS3500/TS3500-SE」もご用意しております。 【特長】 ＜TS2500-RF＞ ■67GHzまでのプローブを4port搭載可能 ■DC-IV/DC-CV/Pulsed-IVなど様々な測定にも対応 ■最小50umまでのウェハを取り扱うことが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
大電流/高電圧プロービングが可能！ウェハ両面（ダブルサイド）へのコンタクトを実現
『PCP-102WS』は、ウェハ両面（ダブルサイド）へのコンタクトを目的とした 高精度プローバです。 当社独自のXY位置補正機能とプロファイリング機能を採用することで、 ウェハの反りに対しても効果的な位置補正が可能。 ウェハ裏面のドレイン側でケルビン接続を行い、そのドレインセンス位置と ウェハ表面のソースセンス位置とを合わせることで正確なRDS（on)（オン抵抗）の 測定をすることができます。 【特長】 ■セラミックブレードによるウェハクランプ方式により、 大電流/高電圧プロービングが可能 ■1チップ内の複数ポイントでプロービングが可能 ■鉄定盤、溶接フレームによる高剛性筐体を採用し、低振動化を実現 ■ローコスト、ハイスループット ■小スペース（フットプリント）、省電力設計 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
研究開発用コンパクト低価格モデルから生産用フルオートモデルまで！多彩な展開で魅せる、磁場印加プローバ。
マグネット搭載を考慮した非磁性プローバのパイオニアとして、デバイスの測定目的を考慮し機能を充実しています。 磁気センサ、磁気メモリ（MRAM）、HDDなど、それぞれの測定デバイス・測定技術に適したモデルをラインナップ。 テスター製作も自社で行っており、ユーザーベースの最適ユニットを構築し開発から生産まで一貫した計測システムを提供いたします。 【製品ラインナップ】 ・垂直磁界プローバ ・全方位磁界プローバ ・簡易プローバ ・温度プローバ ・マニュアルプローバ ・セミオートプローバ ・フルオートプローバ ・電子コンパスフルオートプローバ ・TMR評価用高周波プローバ など
小型TMP排気セット装備！最大4プローブまで増設可能なプロービングシステムです
当製品は、軽量化のため、ベースはアルミ材を使用している、上下に 真空吸着付きの『恒温真空プローバー』です。 温調はサイクル制御2系統。 ステージ部が温調機能があり、真空雰囲気・ガス雰囲気・温度可変といった 環境下で測定ができるシステムとなってます。 【特長】 ■最大4プローブまで増設可能 ■ステージ部が温調機能があり、真空雰囲気・ガス雰囲気・温度可変といった 環境下で測定ができる ■上下に真空吸着付き ■軽量化のため、ベースはアルミ材を使用 ■温調はサイクル制御2系統 ※詳しくは外部リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
汎用性の高い150mm(6インチ)マニュアル・プローバー
デバイス評価、モデリング、WLR、故障解析、IC設計、MEMSなど幅広いアプリケーションに対応しております。
高精度 高信頼性 ハイパワー測定用200mmオート・プローバー
高電圧、大電流（10kV/600A）アプリケーション用途に開発された一台
高精度 高信頼性 IV、CV、パルスドIV、1/f、RF測定用200mmオート・プローバー
デバイスモデリング、RFおよびミリ波測定、WLR、故障解析などオンウェハーの多様なアプリケーションに対応した200mmオート・プローバー。 日本における代理店: ベクターセミコン株式会社 東京都荒川区西日暮里2-43-2 TEL 03-5604-1701 FAX 03-5604-1707
高精度 高信頼性 IV、CV、パルスドIV、1/f、RF測定用300mmオート・プローバー
デバイスモデリング、RFおよびミリ波測定、WLR、故障解析などオンウェハーの多様なアプリケーションに対応した300mmオート・プローバー 日本における代理店: ベクターセミコン株式会社 東京都荒川区西日暮里2-43-2 TEL 03-5604-1701 FAX 03-5604-1707
従来のプローバーから大幅にサイズダウン、価格を下げたウルトラローコストプローバー。
従来のサイズから小型化を求めた省スペースタイプのプローバーになります。スループットの大幅な改善と光学の技術によるウェハーアライメント、また、テストアプリケーションを介し、プローバー機能とテスト機能に効率よくアクセスすることにより、ソフトウェアの開発期間を大幅に短縮します。
