ダブルサイドマニュアルウェファプローバ
高電圧・大電流ダイナミック特性試験をウェーハ上で行うことが可能に!
「ダブルサイドマニュアルプローバ WS51」は、マニュアル操作タイプのダブルサイドウェーハプローバです。 ウェーハ両面同時にケルビンコンタクトすることにより、従来不可能であったパワーMOSFETなどの大電流試験をウェーハで行うことを可能にしました。ブレードセット交換はワンタッチ、マニュピレータ装置搭載(オプション)で微細位置調整可能です。また、マイクロポジショナによるXYテーブルの微調整が出来、試験対象チップと針の位置合わせが容易です。 【特徴】 ■高電圧大電流測定対応 ■ダブルサイドプロービング ■容易な位置調整 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問合せください。
- 企業:ミクナスファインエンジニアリング株式会社
- 価格:応相談