高電圧・大電流ダイナミック特性試験をウェーハ上で行うことが可能に!
「ダブルサイドマニュアルプローバ WS51」は、マニュアル操作タイプのダブルサイドウェーハプローバです。 ウェーハ両面同時にケルビンコンタクトすることにより、従来不可能であったパワーMOSFETなどの大電流試験をウェーハで行うことを可能にしました。ブレードセット交換はワンタッチ、マニュピレータ装置搭載(オプション)で微細位置調整可能です。また、マイクロポジショナによるXYテーブルの微調整が出来、試験対象チップと針の位置合わせが容易です。 【特徴】 ■高電圧大電流測定対応 ■ダブルサイドプロービング ■容易な位置調整 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問合せください。
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基本情報
【仕様】 ■電圧・電流:1500V・DC200VA ■本体寸法:W550×D455×H643 ■本体重量:48kg ■オプション ・マイクロポジショナ5台 ・スプリングテストプローブ ・タングステンニードル ・プローブカード ・ヒータユニット ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問合せください。
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企業情報
ミクナスファインエンジニアリングは1949年の創業以来、 お客さまの期待に応え抜こうとする情熱を持ち、 様々なニーズに合わせ知恵を絞り、創意工夫を重ねてきました。 精密部品加工から装置組立まで幅広い希望にとことん応え、 あらゆる面からお客さまをサポートいたします。










