TS2000-HP-ハイパワーオートプローバー

基本情報

高電圧、大電流アプリケーション用途に開発された一台 ・10kV/600Aまでのオンウェハーでのハイパワーデバイス測定 ・接触抵抗の低い金メッキチャックを採用。最薄50 μmまでの薄形ウェハーを吸着できるよう真空穴を改良 ・Taikoウェハー搭載可能(オプション) ・高電圧/大電流測定用専用プローブ ・アーク放電防止技術 独自ShielDEnvironmentチャンバー、安全設計 ・優れたEMI/RFIシールド、遮光環境 ・fAレベルの微小電流測定が可能 ・広温度範囲(-60℃～300℃)対応 ・ウェハーを簡単に前面よりロード可能。自動測定用側部よりのローダー(プリアライメント) ・安全基準にそったインターロック機構及びライトカーテンによる安全な測定環境 ・一体型アクティブ防振機構 ・早く、安全に、便利に測定を可能にする完全一体型プローバー・コントローラ ・Safety Test Management (STM?)機能によりすべての温度においてウェハーのロード/アンロードを可能に、また露点を自動制御(オプション)

価格情報

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納期

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用途／実績例

8インチ(200mm)ハイパワー・オート・プローバー

詳細情報

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  ライトカーテン 測定領域内の侵入を探知するライトカーテン

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  ShielDEnvironment シールド機構

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  大電流プローブ 最高200A(パルス)まで測定可能です。マルチ・フィンガー大電流プローブは大電流および低接触抵抗を実現するために針とプローブ本体が一体化されています。

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  高電圧プローブ 低リークで10kV(同軸)、3kV(トライアキシャル)までの測定が可能です。接続コネクタにはキーサイト社Triax/UHVコネクタ、ケースレー社Triax/UHVコネクト、SHV、バナナコネクタなどさまざまなオプションよりお選びいただくことが可能です。