微小電流測定、ハイパワー測定に対応したセミオートプローバー！ それぞれ8、12インチまでのウエハサイズに対応です。
-60℃～+350℃の温度特性評価、微小電流測定 20ｋV以上、200A以上のパワーデバイス測定対応 ◎ドライエアを置換できるコンパクトシールド機構により、マイナス温度時も結露しません。 ◎コンパクトなシールドの効果により、安定した微小電流測定が可能です。 ◎オペレーターに分かり易く操作性に優れた制御ソフトです。 ◎画像認識を活かした自動ウエハアライメントや自動個別チップアライメント等を搭載できます。 ◎制御ソフトはオペレーターが操作に迷わないように工程順にアイコンを並べるなど、操作性に優れています。 ◎モデルを使用して、ウェハの角度調整、XY位置の微調整を行うウエハアライメント機能を有しています。 ◎ダイ原点位置の登録後、画像処理により、自動で特徴パターンを検出し、リファレンスモデルとして登録する機能を有しています。 ◎登録されたトレイ内に置かれた登録済みの個片チップを画像認識にて自動的に チップアライメントすることも可能です。（オプション） ◎ウエハの膨張などに対応するオートXYZを搭載できます。（オプション）
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基本情報
スペックなど詳細は総合カタログでご確認ください。
価格帯
1000万円 ~ 5000万円
納期
用途／実績例
微小電流IV測定（ｆAレベル） CV測定 20kV/200Aレベルのハイパワー測定 高周波測定 高低温環境での温度特性試験 TDDB等の信頼性試験
企業情報
半導体デバイスのオンウエハー（ウエーハ）測定に使用するプローブカード、マニュアルプローバー・ホットチャックを販売をしています。特に高周波（RF）、微小電流（低リーク）、高温（耐熱）測定向けの製品を提供しています。 ご相談・ご質問等、どうぞお気楽にお問い合わせくださいませ。
