大電流/高電圧プロービングが可能！ウェハ両面（ダブルサイド）へのコンタクトを実現
『PCP-102WS』は、ウェハ両面（ダブルサイド）へのコンタクトを目的とした 高精度プローバです。 当社独自のXY位置補正機能とプロファイリング機能を採用することで、 ウェハの反りに対しても効果的な位置補正が可能。 ウェハ裏面のドレイン側でケルビン接続を行い、そのドレインセンス位置と ウェハ表面のソースセンス位置とを合わせることで正確なRDS（on)（オン抵抗）の 測定をすることができます。 【特長】 ■セラミックブレードによるウェハクランプ方式により、 大電流/高電圧プロービングが可能 ■1チップ内の複数ポイントでプロービングが可能 ■鉄定盤、溶接フレームによる高剛性筐体を採用し、低振動化を実現 ■ローコスト、ハイスループット ■小スペース（フットプリント）、省電力設計 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様】 ■ウエハサイズ 150mm（6インチ）～200mm（8インチ）対応 （100mm（4インチ）、125mm（5インチ）：オプション） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【実績例】 ■顧客製品でのアライメント成功実績100％（国内実績） ■PCPシリーズ累計500台の納入実績（2022年4月時点） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
株式会社プラムファイブは、半導体検査装置の設計、製造、販売、システムソフトウエア開発、メンテナンスまで一貫しておこなっております。 半導体検査装置メーカーとして半導体分野に携わるお客様に対し、有益な製品とサービスを提供してまいります。 気象防災システムの開発の提供を通じて、社会の安心・安全に貢献できるシステムを提供してまいります。