-60℃～+350℃の温度特性評価、微小電流測定に！マイナス温度時も結露しません
『AP-150／AP-200』は、それぞれ6、8インチまでのウエハサイズに対応した セミオートプローバーです。 コンパクトなシールドの効果により、安定した微小電流測定が可能。 ドライエアを置換できるコンパクトシールド機構により、マイナス温度時も 結露しません。 また、画像認識を活かした自動ウエハアライメントや自動個別チップ アライメント等を搭載できます。 【特長】 ■20kV以上、200A以上のパワーデバイス測定対応 ■それぞれ6、8インチまでのウエハサイズに対応 ■コンパクトなシールドの効果により、安定した微小電流測定が可能 ■オペレーターに分かり易く操作性に優れた制御ソフト ■自動ウエハアライメントや自動個別チップアライメント等を搭載できる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【接続が想定される測定器】 ■半導体パラメータアナライザ ■パワーデバイスアナライザ ■ソースメジャーユニット ■カーブトレーサ ■LCRメータ ■デジタルマルチメータ ■インピーダンスアナライザ ■ネットワークアナライザ ■その他、各社の各種測定器 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
【アプリケーション】 ■微小電流IV測定(fAレベル) ■CV測定 ■20kV/200Aレベルのハイパワー測定 ■高周波測定 ■高低温環境での温度特性試験 ■TDDB等の信頼性試験 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
半導体デバイスのオンウエハー（ウエーハ）測定に使用するプローブカード、マニュアルプローバー・ホットチャックを販売をしています。特に高周波（RF）、微小電流（低リーク）、高温（耐熱）測定向けの製品を提供しています。 ご相談・ご質問等、どうぞお気楽にお問い合わせくださいませ。