汎用性の高い150mm(6インチ)マニュアル・プローバー
デバイス評価、モデリング、WLR、故障解析、IC設計、MEMSなど幅広いアプリケーションに対応しております。
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基本情報
TS150は独自のエア・ベアリング・ステージ、プラテン・リフト、高さ調整機構により非常に操作性の良い150mmマニュアル・プローバーとなっております。 測定のご用途に合わせてさまざまなチャック、顕微鏡、ポジショナより構成をご選定いただけます。 日本における代理店: ベクターセミコン株式会社 東京都荒川区西日暮里2-43-2 TEL 03-5604-1701 FAX 03-5604-1707
価格情報
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納期
用途／実績例
6インチ(150mm)マニュアル・プローバー
詳細情報
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TS150 RFチャック RFチャックをご選定の場合校正基板を搭載するための補助チャックも付属しています。RFポジショナは最大4台搭載可能です。
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TS150 DCポジショナ TS150 マニュアル・プローバーにはDCポジショナを最大10台まで搭載可能です。
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エア・ベアリング機構 MPI独自の エア・ベアリング ステージ により片手で簡単にウェハーのXYポジショニングおよびローディングを可能にしました。またXY/Θマイクロメータを搭載することによりさらなる微調整(25x25mm) をすることを可能にしました。
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企業情報
MPI AST事業部は研究開発用プローバーおよび高周波プローブ関連製品を取り扱っております。 ・デバイス・モデリング、 RF /ミリ波、WLR、ハイパワー、不良解析における50年相当の豊富な経験 ・将来を見据えた斬新な考え ・WWでのお客様、協業者とのパートナーシップ を主軸にお客様のご要望に合った製品を提供してまいります。 日本における代理店: ベクターセミコン株式会社 東京都荒川区西日暮里2-43-2 TEL 03-5604-1701 FAX 03-5604-1707
