TS2000-SE-200mmオートプローバー

基本情報

オンウェハーの多様なアプリケーションに対応 ・デバイスモデリング: DC-IV, DC-CV, パルスドIV ・RFおよびミリ波 : 26～110 GHz帯/110 GHz以上 ・WLR: 高温/低温/ストレス試験 ・故障解析: プローブ・カード/内部ノードテスト MPI独自ShielDEnvironmentチャンバー ・優れたEMI/RFIシールド、遮光環境により理想的な1/fノイズ測定結果を導き出します ・fAレベルの微小電流測定が可能 ・広温度範囲(60℃～300℃)対応 人間工学に基づいた設計 / オプション ・ウェハーを簡単に前面よりロード可能。自動測定用の側部よりのローダー(プリアライメント) ・Vertical Control Environment (VCE) 技術によりプローブ先端を側面から観察することが可能になり、安全なオペレーションが可能 ・一体型アクティブ防振機構 ・Safety Test Management (STM)機能によりすべての温度においてウェハーのロード/アンロードを可能に、また露点を自動制御(オプション)

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納期

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用途／実績例

8インチ(200mm)高性能オート・プローバー

詳細情報

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  ShielDCap(DCポジショナ) ShielDEnvironmentは、プローバー自身に設置された高性能な環境チャンバーで、超低ノイズ、低キャパシタンス測定に必要なEMIシールド、遮光環境を実現します。 DC/ケルビンポートを最大8ポートまで搭載可能。 ShielDCapは簡単に取り外しができ、さらにEMIシールド対応のプローブ・カード・ホルダにも容易に交換でき、作業効率に貢献します。

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  ShildCap(RFポジショナ) ShielDEnvironmentは、RF4ポートまで搭載可能です。

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  シングル・ウェハー・ローダー 高/低温時のウェハー交換が可能に 安全設計されたプリアライメント機能付きシングル・ウェハー・ローダーによりどの温度でもウェハーをロード/アンロードすることが可能となりました。常温まで温度を上げたり下げたりする必要がなくなりました。これにより測定ダウンタイムを大幅に省くことが可能です。

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  ERS社AC３冷却技術を採用 温度チャックはERSが特許を持つERS社AC3 冷却技術を採用しており、ShielDEnvironment内の空気をパージする際、「使用済」ドライエアを利用することにより他社のプローバーと比較して、ドライ・エアの消費量を30～50％も削減することが可能となりました。