分析・計測装置向けターボ分子ポンプ TG70F/240F
分析装置・計測システムへの搭載に対応！装置の小型化が可能な高性能ターボ分子ポンプ ※カタログ進呈
分析機器向けの小型ターボ分子ポンプです。 補助ポンプに小型ダイアフラムポンプが使用できるため、装置を小型化でき、また完全姿勢自在であるため装置レイアウトの自由度も広がります。 小型・軽量・高性能が必要とされる分析・計測装置に適したポンプです。
- 企業：株式会社大阪真空機器製作所
- 価格：応相談
ポンプ(装置) - メーカー・企業と製品の一覧
ポンプの製品一覧
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極低振動 磁気軸受形複合分子ポンプ TG-MLシリーズ
ポンプの振動値を1nm以下に抑えた低振動ポンプ。防振ダンパーを装着すると更に1桁低減(0.1nm)！
高性能な電子顕微鏡、微細描画装置、分析装置に最適です。
- 企業：株式会社大阪真空機器製作所
- 価格：応相談
コントローラ・電源一体型 磁気軸受形ターボ分子ポンプ
余計な配線が不要で作業効率とメンテナンス性が向上！
大阪真空は日本で初めてターボ分子ポンプの開発に成功しました。磁気軸受形ターボ分子ポンプは電源ユニットとポンプを一体化した設計で出力ケーブルや別置きコントローラが無くなりケーブルダクトやコントローララックが不要です。面倒なケーブル引き回し作業が無くなるため作業効率とメンテナンス性が向上します。コンパクト設計が可能なためコストダウンにも貢献します。医療機器、半導体分野、分析・試験装置など製造業で幅広く採用していただいております。 【特長】 ■自由な設計でコストダウン可能！ ■各種アクセス部を前面に集約し作業効率を改善！ ■IP54（防塵・防滴）標準対応で、厳しい環境下でも使用可能！ ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
- 企業：株式会社大阪真空機器製作所
- 価格：応相談
電源ユニット・ポンプ一体型ターボ分子ポンプ
新製品TGkine4200M発売！！余計な配線が不要で作業効率とメンテナンス性が向上！
電源ユニット・ポンプ一体型ターボ分子ポンプ 新製品TGkine4200M 発売！！このたび 新製品TGkine4200Mの開発に成功しました。 他社製品に比べコンパクトな割りに流量が大きい、等の特徴がございます。 9月に開催予定の真空展２０１５へ実機展示し、パネル等で仕様をご説明する予定です。 TGkine4200Mを加えたTGkine３シリーズ (TGkine2200M/3300M/4200M)を展示し、皆様にご紹介いたします。 詳しくは、当社ＨＰにてご確認ください。（当社ＨＰのリンク） この機会に、是非当社ブースへお越しください。 コンパクト設計が可能なためコストダウンにも貢献します。医療機器、半導体分野、分析・試験装置など製造業で幅広く採用していただいております。 【特長】 ■自由な設計でコストダウン可能！ ■各種アクセス部を前面に集約し作業効率を改善！ ■IP54（防塵・防滴）標準対応で、厳しい環境下でも使用可能！ ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
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新型磁気軸受形ターボ分子ポンプ『TG397M～1307M』
設定パラメータ、稼働データをポンプ本体に蓄積可能！
大阪真空機器製作所が取扱う『TG397M / TG427M / TG907M / TG1307M』は、従来の磁気軸受形ターボ分子ポンプと比較して、磁気浮上モータの改良により、低消費電力を実現可能にしました。 また、稼働データ、タッチダウン回数等をポンプ本体に記憶するメモリー機能を搭載し、オーバーホール時等にコントローラを入れ替えても、データの引継ぎが可能になっています。 【特長】 ■省電力設計 ■稼働データ、タッチダウン回数、機種情報などを本体に保持可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプ TG60F
取付姿勢は自在！コントローラ一体型でコンパクトサイズの複合分子ポンプ！
グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプ TG60Fはコントローラ一体型のコンパクトサイズ。取付姿勢が自在なので装置設計の自由度が拡大します。電子銃排気や分析装置、研究開発用などの用途に最適です。 【特長】 ■急速ベント停止が可能。 ■大気突入に強い構造。 ■安全規格適合 NRTL／SEMI-S2／CE(※TG60F-20のみ) ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
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省エネ型ドライ真空ポンプ ER100D/ER100DC
同クラスの中でもトップクラスの省エネルギー・小型・軽量を実現！
省エネ型ドライ真空ポンプ ER100D/ER100DCは、同クラスドライ真空ポンプの中でもトップクラスの省エネルギー、小型・軽量化を実現しました。省エネルギー対応で、到達圧力時消費電力400W。小型・軽量を実現し、設置面積は0.11m2（230×450mm）、重量は60kgです。冷却水量・バージガス量の削減で省ユーティリティです。国際規格適合で、用途に応じた製品仕様をご用意しております。ER100Dは、軽負荷・クリーンプロセスの排気に最適、ER100DCは、耐食性能の高い材質を採用、腐食性ガスの排気に対応しています。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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姿勢自在形 複合分子ポンプ(TG-Fシリーズ)
低～超高真空まで広領域の排気に対応した取付姿勢自在なグリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプ
○取付姿勢自由自在 取付姿勢が360度自由自在なので、装置設計の自由度が拡大！ ○優れた耐久性 独自の軸受構造の採用により、大気突入による急な圧力上昇に強い！ ○急速ベント停止 ベントポートを利用して、エアーブレーキの要領でポンプを急停止させることができます。 ※一部対応外の機種があります。 ○メンテナンスフリー 日々のメンテナンスの必要がありません。 定期的なオーバーホールで、より長くお使いいただけます。
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油拡散真空ポンプ
簡単に超真空を得ることができ、幅広い真空プロセスに用いられている真空ポンプ
【特徴】 ○10,000L/s（バッフルなし）以上の排気速度を持つポンプもラインアップ ○作動油の突沸による圧力変動が少ない信頼性の高い超高真空ポンプ ○機械的な作動部がなく、堅牢で長寿命 ○分解が簡単な構造なので、内部清掃・保守・点検が容易に行える ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
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