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独自の真空貼付方式！塗布技術のノウハウにより凹凸の大きなパターンにも対応
『ウエハーマウンター』は、ウエハー薄板化および薄基板工程流動を サポートする製品です。 LD、LED、MMICなどの薄板化工程に使用されるウエハーを支持基板に 貼り合わせ、カセットに収納。 アニール後の薄板ウエハーの支持基板によるサポートにも対応します。 また、WAXメーカーとのアライアンスによるプロセス提案が可能です。 【特長】 ■薄板化工程に使用されるウエハーを支持基板に貼り合わせ、カセットに収納 ■アニール後の薄板ウエハーの支持基板によるサポートにも対応 ■WAXメーカーとのアライアンスによるプロセス提案が可能 ■塗布技術のノウハウにより凹凸の大きなパターンにも対応 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
対応サイズはφ4～8″！試作から量産まで各種デバイスウエハーの薄板化プロセスをサポート
当社が取り扱っている『マニュアルウエハーマウンター』をご紹介します。 当装置はWAXが塗布されたウエハーを真空カップ内で支持基板へ貼り付けを 行います。 真空カップ内でウエハーと支持基板の貼付を行うことにより気泡の混入を 回避。貼付後に「エアスタンプ」処理をすることによりTTVを矯正します。 【特長】 ■WAXが塗布されたウエハーを真空カップ内で支持基板へ貼り付けを行う ■真空カップ内でウエハーと支持基板の貼付を行うことにより気泡の混入を回避 ■貼付後に「エアスタンプ」処理をすることによりTTVを矯正 ■試作から量産まで各種デバイスウエハーの薄板化プロセスをサポート ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
