プローブ針、プローブホルダ及びマニピュレータ
60年以上に渡り半導体デバイス解析用プロービング関連製品一筋に開発製造を行っている米国Micromanipulator社の製品
プローブ針:先端半径0.1μmの極小ターゲット用、高温プロービング用等プロービングの目的、ターゲットに合わせた各種プローブ針が用意されています。既にご使用されているプロービングシステムの交換用プローブ針としてご利用頂けます。 プローブホルダ:プローブ針を先端にセットしマニピュレータに組み合わせます。ケルビン接続やコアキシャル及びトライアキシャル仕様、またその両方の機能を備えた仕様の製品も用意されています(例:ケルビン接続のトライアキシャル仕様)。 マニピュレータ:先端にプローブ針を装着したプローブホルダを取り付け、ターゲットにプロービングを行います。マグネット及びバキューム吸着ベースの2種類用意されています。
- 企業:有限会社シスコム(SysCom)
- 価格:1万円 ~ 10万円