NM_【国内半導体製造メーカー様ご採用】真空対応超音波モータ
【国内半導体製造メーカー様ご採用】真空中での高速移動と精密位置決めを合わせもつ、半導体製造で使用されている超音波モータ
Nanomotion社の超音波モータは、さまざまなサイズがあり、大気中から超高真空までの環境に適しています。 半導体業界の各種マイクロステージから300mmウェーハ検査ステージまで、幅広いアプリケーション向けのモーションプラットフォームを構築してきました。 Nanomotion社の超音波モータの特徴は、バックラッシのないダイレクトドライブで、無通電でもステージを保持できます。 モータ単体では最大32Nの駆動力ですが、より多くのトルクが必要な場面では複数の超音波モータを取り付けることで駆動力を増すことが可能です。 また高真空中で使用でき、イオンビームの用途向けに非磁性モデルも用意しております。 ■SEモータ（最新型） 1μm～500mm/sec速度範囲、サブnmのステップ分解能、最大32Nの駆動力 7nmプロセスのための開発コンソーシアムにNanomotion社も関わって開発した超音波モータ。国内メーカーでも注目。 ■HRモータ（標準型） 1μm～250mm/sec速度範囲、1nmのステップ分解能、最大32Nの駆動力 国内メーカーで多数使用されている超音波モータ
- 企業：株式会社工苑
- 価格：応相談
