超微細、超精密、特殊形状の製作が可能なX線リソグラフィー
X線マスク製作からサブミクロン精度形成まで、今までにない新しい形状が製作可能です。
高アスペクトパターン形成、コーナーキューブ形状、パイル形状、テーパー形状などの特殊パターン形成、及びそれらの金型形成が可能です。 【特徴】 ■特殊な形状が製作可能 ■サブミクロンオーダーの精度形成が可能 ■高アスペクトなパターン形成が容易 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お問い合わせください。
- 企業:株式会社オプトニクス精密
- 価格:応相談
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X線マスク製作からサブミクロン精度形成まで、今までにない新しい形状が製作可能です。
高アスペクトパターン形成、コーナーキューブ形状、パイル形状、テーパー形状などの特殊パターン形成、及びそれらの金型形成が可能です。 【特徴】 ■特殊な形状が製作可能 ■サブミクロンオーダーの精度形成が可能 ■高アスペクトなパターン形成が容易 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お問い合わせください。