更新日： 集計期間:2026年09月16日～2026年10月13日
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真空レギュレータのパイロット真空圧力を制御
ダイヤフラム上部の真空圧によってドームが加圧され、入口真空圧をこの「パイロット真空圧」にほぼ等しく制御します。ドーム上のパイロット真空圧は、手動または電子式の真空レギュレータを使用して調整でき、オープンループ制御またはクローズドループ制御方式で動作させることができます。真空パイロット制御方式の選択は、アプリケーションの性能要件によって異なります。 注： イクイリバール EVRは過酷な化学条件下にも対応していますが、当社の真空パイロットレギュレーターおよび継手は対応していません。真空パイロットを通る流れは、大気圧から真空供給ポンプの入口に向かうため、通常の運転中は真空パイロットに化学物質が流入することはありません。真空パイロットレギュレーターからは常に少量の漏れがあります。詳細については、安全設計ページの最下部をご覧ください。過酷な化学薬品を使用する場合は、アプリケーションエンジニアにご相談ください。
元圧の制御はもちろん、末端部の制御も可能！
真空バルブと真空パッドなどの間に配置して末端部の圧力制御が可能なレギュレータ
1/4インチから1インチまでの配管サイズに対応した高解像度・高精度
入力条件が大きく変動する場合でも、非常に安定した入口圧力を制御するために特別に設計されています。EVRは、供給真空度の変動や流量の変化に関わらず、厳密な制御を維持します。Equilibar精密真空レギュレータは、従来の真空制御弁とは異なる動作原理を採用しています。可動部品はフレキシブルダイヤフラムのみで、このダイヤフラムが内部バルブのオリフィスに直接シールすることで、従来の真空制御弁によく見られる、動的Oリングやワイパータイプのシールによる「スティクション」を排除しています。Equilibarの設計は摩擦がなく、非常に高い分解能で真空を制御できます。
速度や性能を犠牲にすることなしに、供給エアー圧を適正な圧とします。
Piab（ピアブ）のpiSAVE optimzeは、アプリケーションにより、供給エアーを自動的に調整します。 アプリケーションの速度や性能を犠牲にすることなしに、供給エアー圧を適正な圧とします。 【特徴】 ○真空圧に連動して圧縮空気の供給圧をコントロールするレギュレーター ○圧縮空気で作動する真空ポンプの省エネデバイス ○真空式エジェクターポンプへ供給する圧力を 設定した真空圧以上に上がらないように制御 ○圧縮空気の使用量が最小限に維持（使用量の最適化） 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 （PIAB ピアブ・ジャパン株式会社）
プロセスを制御する電子式真空レギュレーター。クローズドループ制御（PID制御モード）で幅広い流量範囲でより高い精度が得られます。
コンピュータによる指令信号によって真空制御を行います。指令信号はまず小型の電子レギュレータに送信され、そこからパイロット信号が生成されてドーム型Equilibar真空レギュレータ（EVR）の基準ポートに送られ、プロセス圧力を制御します。 Equilibar社は、このパイロット基準信号を提供する高精度電子圧力レギュレータのシリーズを提供しています。QPV超高分解能モデルとEPR-30Hgモデルは、ヒステリシスやデッドバンドがほとんどないため、精密な調整が可能です。 これらのレギュレータは、オープンループモードまたはクローズドループモードで使用できます。オープンループモードでは、コンピュータ信号によって真空設定値が電子パイロットレギュレータに送られ、パイロットレギュレータはその指令された圧力をEVR基準ポートに供給して、プロセス真空を設定値に非常に近い値に保ちます。オープンループモードでは、流量が増加するにつれて真空圧力にわずかな変動が生じます。
Equilibar社製品ラインアップ：高粘度媒体対応。実験室・産業用途で多様なアプリケーションに適した幅広い流体制御製品を提供
代表的な技術は、ドーム型多孔式背圧レギュレータで、幅広いCv値、最大圧力、および温度に対応したモデルをご用意しています。Equilibarはまた、電子レギュレータ、減圧レギュレータ、特殊バルブおよびレギュレータ、真空レギュレータなど、豊富な製品を取り揃えており、最も複雑な状況にも最適なソリューションを提供します。 スプリングやピストンの摺動部が流体に接しないため、高粘度でも動作が安定します。
ステンレス鋼またはハステロイから機械加工されており、パーソナルケア製品、食品・飲料、医薬品製造などの業界での使用に適しています。
バイオ医薬品、パーソナルケア、その他の生命科学産業におけるサニタリー用途向けに特別な機能を持つよう設計されています。逆圧レギュレーターは入口の圧力を制御し、余剰液体をバルブ本体に排出することで圧力を維持します。FDサニタリーレギュレーターは、フィードバックループを利用して流量を制御するために自動化できます。
SS316ダイヤフラム、グラファイトシール、CシールOリングなどを備えた精密背圧レギュレーター
標準的な研究シリーズの多くは、SS316ダイヤフラムとKalrez Oリングにアップグレードすることで、動作温度範囲を300℃/527°Fまで拡張できます。金属ダイヤフラムを使用することで、圧力範囲も最大10,000 psig/689 bar(g)まで拡張できます。標準のPTFE/ガラス複合ダイヤフラムは、低圧で232℃（450°F）までの条件下で使用できますが、高温でのPTFEの機械的応力低下を考慮すると、ほとんどの高温用途ではSS316ダイヤフラムの方が実用的です。一部の用途では、ハステロイC276製のダイヤフラムも利用可能です。
超微圧・超微流量調整可能なマルチオリフィス設計のドームロード背圧レギュレーター。最大CVレンジ1,000,000：1。
Equilibarドームロード背圧レギュレーターは複数オリフィス設計により、上流側の流量変動による設定圧力への影響が小さく、安定した制御を行う事が可能です。 柔軟なダイアフラムのみで制御するので、スプリング式背圧弁のように摩擦で精度が落ちることは無く、応答速度も速いです。 パイロットポートを真空ポンプと繋げることで、真空レギュレーターとしてご利用頂けます。 【特徴】 ■大半のアプリケーションにて1％未満の過剰圧力で完全に開く ■気液混合流体やスラリー、腐食性の強い流体でも使用可能 ■真空・真空ー正圧制御を高精度で制御 ■シンプルな構造なため部品交換及び組立も容易 ■最小：0.1kPa以下、最高：約70MPaまで調整可能 ※詳しくはお問い合わせいただくか、PDFをダウンロードしてご覧ください。
目詰まりしない超臨界流体背圧レギュレーター。ジュール・トムソン効果を低減するためのブロック耐性設計。
ブロック耐性のあるBRシリーズのバックプレッシャーレギュレーター。このシリーズは、特に超臨界CO2(SCO2)抽出などの特殊用途に理想的ですが、詰まり、閉塞、凍結が起こる可能性のあるあらゆる工程にも有用です。 このシリーズは独自の設計機能を統合し、過臨界プロセス流体がユニットを通過する際のジュール・トムソン効果を低減することで、顧客が精密制御を実現できるようにします。このレギュレーターシリーズの主な設計特徴は、氷の蓄積による収束点を排除するために断面積を継続的に増加させる下流の膨張空洞です。さらに、この大きな熱容量により、排出流体を複数の方法で加熱するための熱伝達面積が増加します。最後に、このシリーズは急速減圧時の応力を軽減するために特別に設計されたOリング溝を持ち、Oリングの寿命を延ばします。このシリーズには、アウトレットフランジ、チューブスタブ、またはNPTフィッティングなど、いくつかのカスタムフィッティングオプションがあります。
より大きな配管サイズと高いCv値を必要とする気体、液体、および混合相流体用途向けに設計されています
イクイリバールはこのサイズ範囲で、ICインダストリアルコレクションとBDシリーズの2つのフォームファクターを提供しており、それぞれに独自の利点があります。最適な選択は申請要件によりますが、その点については当社のアプリケーションエンジニアとご相談ください。両機ともEquilibarドームロード多孔技術で設計されており、幅広い流量域での精密制御を実現しています。ポートサイズは標準で1.5インチから4インチまで用意されており、リクエストに応じてカスタムサイズも可能です。
最大10,000 psig / 689 bar(g)の高圧用途において、高精度な性能を発揮。
Equilibar社の高圧レギュレータは、高圧原子炉などの用途向けに標準的な低流量モデル、高圧炉心試験などの用途向けに超低流量モデルが用意されています。液体、気体、および混合相流体に対して、高精度かつ安定した制御を実現します。 Equilibar社は、 DCI Test Systems社のABPR-20に統合された、定格圧力20,000 psig / 1375 bar(g)の新しい超低流量BPRであるU20Lを発表しました。 右図に示すBPR、H10Pは、10,000 psig / 689 bar(g)の定格圧力です。Equilibarレギュレータはドーム負荷式であるため、ドーム基準ポートには、所望の入口圧力に等しいパイロット設定基準圧力（1:1の比率）が必要です。このパイロット設定圧力は通常、窒素などの高圧不活性ガスボンベから供給されます。お客様は通常、手動減圧レギュレータを使用してこの基準設定圧力を制御しますが、 Equilibar BPRのドームに圧力負荷をかける方法は他にも あります。
1/4インチから1インチまでのポートサイズで、気体、液体、高粘度媒体および混合相流体の安定した制御を実現します。
パイロットスケールまたは製造スケールの用途向けに設計されたこれらのモデルは、電気分解、 燃料電池試験、API連続製造、圧力バイパス制御、および高分解能流量制御に幅広く使用されています。 スプリングやピストンの摺動部が流体に接しないため、高粘度でも動作が安定しやすいです。 トリム材と本体材は、工程の要求に合わせてカスタマイズ可能です。一般的な在庫材はSS316LとPVCですが、用途に応じて、GS背圧レギュレーターはアルミニウム、ハステロイC276、モネル、PTFE、PEEKなどの素材で製造できます。Oリングとダイヤフラムの材質も、工程のニーズに合わせて様々な種類をご用意しています。
高圧・低流量の条件でも高精度を実現。バルブは、1/16、1/8、1/4インチをご用意。低流量・低デッドボリュームの要件に対応。
世界中の実験室およびガス分析システムの重要な性能問題を解決します。特に触媒研究や貯留層コア解析などの応用で人気があります。 Equilibarは、リサーチシリーズのデザインで複数のトリムスタイルと多様なダイアフラム素材を備え、多くの厳しい研究環境に対応しています。Research Seriesの背圧レギュレーターは非常に幅広い流量、圧力、温度に対応しています。素材にはHastelloy、SS316L、PTFE、FFKM(Kalrez)などがあります。 研究用バックプレッシャーレギュレーターの最大温度範囲は標準150°Cで、ビトンシールと金属ダイアフラムで最大200°C、カルレスシールと金属ダイアフラムで325°Cまで対応可能です。極端な温度の場合、高温(HT)モデルは最大450°Cまでのプロセスで使用可能です。
超高感度な真空レギュレータ。大気圧近辺の低真空域も確実に制御
ーフェアチャイルド社製真空制御用レギュレータは極めて高い感度特性を持っています。 ー大気圧近辺の浅い真空域から最大-736ｋPaまで制御することが可能です。 ー製品シリーズはモデル16及び大流量型モデル1600Aからなり、何れも繰返し特性に優れ、安定した制御を保証します。 詳しくはお問合せいただくかカタログをダウンロードください。
繰返し性に優れ、広領域の真空制御を実現！配管から外さずに保守も可能！
フェアチャイルド社製『真空制御用レギュレータ』は、極めて高い感度特性で 大気圧近辺の浅い真空域から最大－96.8kPaまで制御可能です。 ラインアップは4種で、いずれも繰返し特性に優れ、安定した制御を実現！ 複ダイアフラム式構造で、適正な面積と柔軟な素材により 感度特性は125Paと超高感度です。 分析装置サンプルガス導入系制御、搬送系制御や各種試験装置、 半導体製造装置及びタイヤ工場における加硫機制御など多用途で活躍しています。 使用方法は2種類で、 真空容器の外側に配管し、大気または正圧を真空側に送出する方法と、 真空容器と真空ポンプ間のバイパス系に取付ける方法があります。 ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
厳正な流体制御用例向け高信頼性製品。低圧、中圧、高圧用例向け。 デモ機貸し出しも可能。
★ロトルクフェアチャイルドPAX1 はフェアチャイルド製精密レギュレータは制御用に最適です。 ★PAXシリーズ は遠隔地、及び危険な環境において最大20.68 MPa迄の圧力を制御出来ます。 ★PAXシリーズ は内蔵モーターにより双方向に可動しますが、レギュレーターのスプリングに対抗、又は共に動作する連結性はありません。 ★PAXシリーズは電源、又は制御信号喪失時には最終位置を保持します。 ＜特徴・利点＞ ●設定レンジは真空から20.68 MPa。 ●最大ストローク速度は10秒以下。 ●耐候性 IP66/IP68/Type 4X/Type 6P ●温度範囲 -40℃から＋80℃。 ●消費電力 1ワット以下、待機時/遠隔地における不作動時。 ●オプションでアナログ制御とフィードバック。 ●ユーザーによるストローク設定。 詳しくはお問合せいただくかカタログをダウンロードください。
真空ポンプの出力を微細に制御可能。
フェアチャイルド社製真空制御用レギュレータは極めて高い感度特性を持ち、大気圧近辺の浅い真空域から最大-736ｋPaまで制御することが可能です。製品シリーズはモデル16及び大流量型モデル1600Aからなり、何れも繰返し特性に優れ、安定した制御を保証します。
極めて高感度で高精密な、真空制御専用レギュレータ。
フェアチャイルド社製真空制御用レギュレータは極めて高い感度特性を持ち、大気圧近辺の浅い真空域から最大-736ｋPaまで制御することが可能です。製品シリーズはモデル16及び大流量型モデル1600Aからなり、何れも繰返し特性に優れ、安定した制御を保証します。
極めて高感度・精密な吸着制御を実行。
★フェアチャイルド社製真空制御用レギュレータは極めて高い感度特性を持ち、大気圧近辺の浅い真空域から最大-736ｋPaまで制御することが可能です。 ★製品シリーズはモデル16及び大流量型モデル1600Aからなり、何れも繰返し特性に優れ、安定した制御を保証します。 詳しくはお問合せいただくかカタログをダウンロードください。
