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Equilibar 高精度真空レギュレーター

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最終更新日:2026年06月29日

日本スターテクノ株式会社
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大きく異なる入力条件において非常に安定した入口圧力を制御するために特別に設計されています。

EVRは供給真空の変化や流量の変化にもかかわらず厳密な制御を維持します。エクイリバー精密真空レギュレーターは、従来の真空制御弁の設計とは異なる動作をします。彼らは柔軟なダイアフラムを唯一の可動部品として使っています。このダイアフラムは内部バルブのオリフィスに直接密閉するためで、動的Oリングやワイパータイプのシールに依存する従来の真空制御弁でよく見られる「スティクション」を排除します。Equilibarの設計は摩擦がなく、非常に高い分解能で真空を制御できます。仕組みについて詳しく学びましょう。

    流量計その他計測・記録・測定器その他 流量計
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Equilibar 高精度真空レギュレーター

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基本情報

エクイリバールの低流量精密真空レギュレーターは1/4インチから1インチのサイズで提供されており、温度や耐薬性の適用要件に応じてステンレス鋼316/316L、陽極酸化アルミニウム、PVCなどの材料オプションがあります。各EVRには手動パイロット設定レギュレーターが付属しており、便利なノブ調整が可能です。

価格帯

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納期

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ドーム式マルチオリフィスバルブ/背圧レギュレーター/真空レギュレーター

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