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代表的な技術は、ドーム型多孔式背圧レギュレータで、幅広いCv値、最大圧力、および温度に対応したモデルをご用意しています。Equilibarはまた、電子レギュレータ、減圧レギュレータ、特殊バルブおよびレギュレータ、真空レギュレータなど、豊富な製品を取り揃えており、最も複雑な状況にも最適なソリューションを提供します。
ダイヤフラム上部の真空圧によってドームが加圧され、入口真空圧をこの「パイロット真空圧」にほぼ等しく制御します。ドーム上のパイロット真空圧は、手動または電子式の真空レギュレータを使用して調整でき、オープンループ制御またはクローズドループ制御方式で動作させることができます。真空パイロット制御方式の選択は、アプリケーションの性能要件によって異なります。 注： イクイリバール EVRは過酷な化学条件下にも対応していますが、当社の真空パイロットレギュレーターおよび継手は対応していません。真空パイロットを通る流れは、大気圧から真空供給ポンプの入口に向かうため、通常の運転中は真空パイロットに化学物質が流入することはありません。真空パイロットレギュレーターからは常に少量の漏れがあります。詳細については、安全設計ページの最下部をご覧ください。過酷な化学薬品を使用する場合は、アプリケーションエンジニアにご相談ください。
高流量電子式真空調整弁は、従来のPID制御バタフライ弁よりもはるかに高速かつ高精度なソリューションを提供します。 Equilibarの2段式パイロット制御ソリューションでは、小型の電子式真空パイロットレギュレータが真空設定値信号を大型の背圧レギュレータ（BRP）に送信し、BRPの入口で1対1の直接的な関係で制御された真空状態を実現します。この目的のために、Equilibarの高分解能電子式真空パイロットレギュレータが使用されます。この電子式真空パイロットレギュレータと高精度パイロット制御背圧レギュレータの組み合わせにより、完全な電子式真空バルブパッケージが構成されます。電子式真空バルブは、従来の4-20mAアナログ入力と最新のシリアルデジタル入力の両方に対応しています。 クローズドループモードでは、プロセス真空圧力は別の真空圧力センサーによって監視され、パイロットレギュレーターへの指令信号が調整されて、プロセス圧力が目標設定値に一致するように制御されます。このPID制御は、機種によっては電子圧力レギュレーター内部で実行される場合もあれば、プロセス制御システムで設定される場合もあります。
コンピュータによる指令信号によって真空制御を行います。指令信号はまず小型の電子レギュレータに送信され、そこからパイロット信号が生成されてドーム型Equilibar真空レギュレータ（EVR）の基準ポートに送られ、プロセス圧力を制御します。 Equilibar社は、このパイロット基準信号を提供する高精度電子圧力レギュレータのシリーズを提供しています。QPV超高分解能モデルとEPR-30Hgモデルは、ヒステリシスやデッドバンドがほとんどないため、精密な調整が可能です。 これらのレギュレータは、オープンループモードまたはクローズドループモードで使用できます。オープンループモードでは、コンピュータ信号によって真空設定値が電子パイロットレギュレータに送られ、パイロットレギュレータはその指令された圧力をEVR基準ポートに供給して、プロセス真空を設定値に非常に近い値に保ちます。オープンループモードでは、流量が増加するにつれて真空圧力にわずかな変動が生じます。
ドーム型多孔オリフィス技術を採用して設計されており、幅広い流量範囲で精密な制御を実現します。Equilibar精密EVRは、唯一の可動部品であるフレキシブルダイヤフラムを制御機構として採用しています。このダイヤフラムはバルブ内部のオリフィスに直接密着するため、従来の動的Oリングやワイパータイプのシールを用いた真空制御バルブによく見られる「スティクション」を解消します。Equilibar設計は摩擦がなく、極めて高い分解能で真空を制御できます。動作原理の詳細については、こちらをご覧ください。 当社の高精度高流量真空バルブは、1 1/2インチから4インチまでのサイズを取り揃えており、材質は用途に応じた温度および耐薬品性に応じて、ステンレス鋼316/316L、陽極酸化アルミニウム、またはPVCからお選びいただけます。各EVRには、ノブで簡単に調整できる手動パイロット設定値レギュレーターが付属しています。EVRの自動化をご希望の場合は、電子パイロットレギュレーターをご購入いただけます。
1960年代にグローブ社によって初めて発売されたマイティマイト背圧レギュレーターは、アマチュアロケットから石油化学研究まで、幅広い流体制御用途で定番製品として使用されてきました。しかし近年、化学研究分野の多くの顧客から、これらの製品の供給とサービスに関する問題が報告されていました。そして2015年、顧客はこれらの製品が市場から完全に撤退するという事態に直面しています。 既存の機器と全く同じ形状で交換できる製品をお探しの場合は、Equilibarの交換用ダイヤフラムとBPR（圧力調整弁）がお客様のニーズにお応えします。Cv値と圧力範囲が異なる3つのモデルをご用意しています。
Equilibar社の高圧レギュレータは、高圧原子炉などの用途向けに標準的な低流量モデル、高圧炉心試験などの用途向けに超低流量モデルが用意されています。液体、気体、および混合相流体に対して、高精度かつ安定した制御を実現します。 Equilibar社は、 DCI Test Systems社のABPR-20に統合された、定格圧力20,000 psig / 1375 bar(g)の新しい超低流量BPRであるU20Lを発表しました。 右図に示すBPR、H10Pは、10,000 psig / 689 bar(g)の定格圧力です。Equilibarレギュレータはドーム負荷式であるため、ドーム基準ポートには、所望の入口圧力に等しいパイロット設定基準圧力（1:1の比率）が必要です。このパイロット設定圧力は通常、窒素などの高圧不活性ガスボンベから供給されます。お客様は通常、手動減圧レギュレータを使用してこの基準設定圧力を制御しますが、 Equilibar BPRのドームに圧力負荷をかける方法は他にも あります。
標準的な研究シリーズの多くは、SS316ダイヤフラムとKalrez Oリングにアップグレードすることで、動作温度範囲を300℃/527°Fまで拡張できます。金属ダイヤフラムを使用することで、圧力範囲も最大10,000 psig/689 bar(g)まで拡張できます。標準のPTFE/ガラス複合ダイヤフラムは、低圧で232℃（450°F）までの条件下で使用できますが、高温でのPTFEの機械的応力低下を考慮すると、ほとんどの高温用途ではSS316ダイヤフラムの方が実用的です。一部の用途では、ハステロイC276製のダイヤフラムも利用可能です。
ブロック耐性のあるBRシリーズのバックプレッシャーレギュレーター。このシリーズは、特に超臨界CO2(SCO2)抽出などの特殊用途に理想的ですが、詰まり、閉塞、凍結が起こる可能性のあるあらゆる工程にも有用です。 このシリーズは独自の設計機能を統合し、過臨界プロセス流体がユニットを通過する際のジュール・トムソン効果を低減することで、顧客が精密制御を実現できるようにします。このレギュレーターシリーズの主な設計特徴は、氷の蓄積による収束点を排除するために断面積を継続的に増加させる下流の膨張空洞です。さらに、この大きな熱容量により、排出流体を複数の方法で加熱するための熱伝達面積が増加します。最後に、このシリーズは急速減圧時の応力を軽減するために特別に設計されたOリング溝を持ち、Oリングの寿命を延ばします。このシリーズには、アウトレットフランジ、チューブスタブ、またはNPTフィッティングなど、いくつかのカスタムフィッティングオプションがあります。
バイオ医薬品、パーソナルケア、その他の生命科学産業におけるサニタリー用途向けに特別な機能を持つよう設計されています。逆圧レギュレーターは入口の圧力を制御し、余剰液体をバルブ本体に排出することで圧力を維持します。FDサニタリーレギュレーターは、フィードバックループを利用して流量を制御するために自動化できます。
背圧制御のシート機構は、手動式背圧レギュレーター（BPR）と同じですが、電子式背圧レギュレーターでは、シート位置の調整に機械式装置ではなく電子機器が使用されます。 ドーム型背圧レギュレーターを使用する利点の1つは、個々の状況に応じてドーム設定値の種類を自由に選択できることです。Equilibarは、ドーム設定値信号を制御するための各種電子圧力レギュレーターを提供することで、電子背圧制御のための包括的なソリューションを提供します。 圧力制御システムの設計は、仕様変更が頻繁に発生する長期プロジェクトとなる場合があります。Equilibar背圧レギュレーターは、高い流量調整比と柔軟な設定値オプションにより、このプロセスを簡素化できます。ドーム型設計により、初期設定は手動制御システムで行い、その後は新しい背圧レギュレーターを購入することなく電子制御に切り替えることが可能です。
イクイリバールはこのサイズ範囲で、ICインダストリアルコレクションとBDシリーズの2つのフォームファクターを提供しており、それぞれに独自の利点があります。最適な選択は申請要件によりますが、その点については当社のアプリケーションエンジニアとご相談ください。両機ともEquilibarドームロード多孔技術で設計されており、幅広い流量域での精密制御を実現しています。ポートサイズは標準で1.5インチから4インチまで用意されており、リクエストに応じてカスタムサイズも可能です。
EPR-3000は、1000 psig / 69 bar(g)を超える圧力範囲における電子圧力制御の精度と利便性を大幅に向上させた製品です。 デュアルアナログバルブ構造を採用することで、EPR-3000は一部の競合製品に見られる不活性ガス供給の無駄を回避しています。 ・不活性ガス用 ・デュアルアナログバルブ構造 ・定常状態ではガス供給の無駄がない ・0.25%の精度で非常に高解像度 ・キーパッドオプション付きデジタルまたはアナログ通信 ・危険環境や爆発環境での使用は想定されていません。
入力条件が大きく変動する場合でも、非常に安定した入口圧力を制御するために特別に設計されています。EVRは、供給真空度の変動や流量の変化に関わらず、厳密な制御を維持します。Equilibar精密真空レギュレータは、従来の真空制御弁とは異なる動作原理を採用しています。可動部品はフレキシブルダイヤフラムのみで、このダイヤフラムが内部バルブのオリフィスに直接シールすることで、従来の真空制御弁によく見られる、動的Oリングやワイパータイプのシールによる「スティクション」を排除しています。Equilibarの設計は摩擦がなく、非常に高い分解能で真空を制御できます。
パイロットスケールまたは製造スケールの用途向けに設計されたこれらのモデルは、電気分解、 燃料電池試験、API連続製造、圧力バイパス制御、および高分解能流量制御に幅広く使用されています。 トリム材と本体材は、工程の要求に合わせてカスタマイズ可能です。一般的な在庫材はSS316LとPVCですが、用途に応じて、GS背圧レギュレーターはアルミニウム、ハステロイC276、モネル、PTFE、PEEKなどの素材で製造できます。Oリングとダイヤフラムの材質も、工程のニーズに合わせて様々な種類をご用意しています。
世界中の実験室およびガス分析システムの重要な性能問題を解決します。特に触媒研究や貯留層コア解析などの応用で人気があります。 Equilibarは、リサーチシリーズのデザインで複数のトリムスタイルと多様なダイアフラム素材を備え、多くの厳しい研究環境に対応しています。Research Seriesの背圧レギュレーターは非常に幅広い流量、圧力、温度に対応しています。素材にはHastelloy、SS316L、PTFE、FFKM(Kalrez)などがあります。 研究用バックプレッシャーレギュレーターの最大温度範囲は標準150°Cで、ビトンシールと金属ダイアフラムで最大200°C、カルレスシールと金属ダイアフラムで325°Cまで対応可能です。極端な温度の場合、高温(HT)モデルは最大450°Cまでのプロセスで使用可能です。
パーセンテージレベルの高流量用途向けに設計されたIMXガス混合プラットフォームは、より大規模な商業規模の操業に最適です。0〜20 SLPM、0〜3200 SLPMの複合流量で正確なブレンドを作成します。リアルタイムのプロセス制御。流量と圧力の優先順位に関するガス供給オプション。 IMXは、最も厳しい商業規模および工業環境で24時間稼働可能なガスミキサーで、厚い全鋼製シャーシを用いています。 一貫性のある正確なガス混合比はMFCによって制御されています。個々のチャネルは、正確な混合気、出口圧力制御、変化するプロセス条件への迅速な対応を提供するよう調整されています。 目標ミックスの割合の0.6%±精度も良好です 流量制御応答時間は25〜125ms(典型的、T63) カラーTFTディスプレイスクリーン付き 純粋またはあらかじめ混合された給料源を使って最大4つのガスストリームをブレンドします 多くの腐食性および冷媒ガスの支援 リアパネル接続には統合EMOスイッチ、オプションの外部EMO入力、24Vアラーム出力が含まれます 24時間連続運転安全;耐久性を重視して作られています
◆ベンチトップリモートMXMと同じ機能と機能を備えた産業用フォームファクターです ◆2台から10台のMFC(0-100 SCCMから0-12,000 SLPMユニットまで) ◆19インチ4Uラックスペース、スチールシャーシ、リアプレッシャーポート ◎MAP包装(Modified Atmosphere Packaging) 食品・飲料包装業界では、製品の品質と安全性を確保するために、正確で信頼性の高いガス混合が求められています。従来のシステムは温度や圧力の変化に弱く、無駄や非効率につながることが少なくありません。アリキャット社の質量流量ベースの混合技術は、安定した混合とスムーズな運転を実現し、製造業者の品質向上とコスト削減に貢献します。 ◎FusionFlow IMXの包装ラインとコンプライアンスへのメリット -正確な多種ガス質量流量測定により、混合ガスの量を常に正確に把握できます。 -高速制御応答により、圧力変動を相殺します。 -現場での混合により、通常ボトル入りの混合液に費やす費用を節約できます。 -オールインワン構成により、コンピューターなしで簡単にガス混合が可能詳細はこちら
－ガスミキサ ◆リモコンインターフェースボックス ◆2台から10台のMFC(0-100 SCCMから0-12,000 SLPMユニットまで)があります ◆固定流量用途と動圧制御による航続距離増加 ◆コンパクトテーブルトップコントローラー ◎MAP包装(Modified Atmosphere Packaging) 食品・飲料包装業界では、製品の品質と安全性を確保するために、正確で信頼性の高いガス混合が求められています。従来のシステムは温度や圧力の変化に弱く、無駄や非効率につながることが少なくありません。アリキャット社の質量流量ベースの混合技術は、安定した混合とスムーズな運転を実現し、製造業者の品質向上とコスト削減に貢献します。 ◎FusionFlow IMXの包装ラインとコンプライアンスへのメリット -正確な多種ガス質量流量測定により、混合ガスの量を常に正確に把握できます。 -高速制御応答により、圧力変動を相殺します。 -現場での混合により、通常ボトル入りの混合液に費やす費用を節約できます。 -オールインワン構成により、コンピューターなしで簡単にガス混合が可能詳細はこちら
◆低流量用途向けのターンキーMXMの小型フォームファクター版 ◆2から6の統合MFC 0–10SCCM から 0–10SLPM ユニット(非腐食性ガスのみ)までの範囲です ◆すべてのガスと接続にフル対応のリアパネル接続 ◆アルミニウムのフローパス ◎MAP包装(Modified Atmosphere Packaging) 食品・飲料包装業界では、製品の品質と安全性を確保するために、正確で信頼性の高いガス混合が求められています。従来のシステムは温度や圧力の変化に弱く、無駄や非効率につながることが少なくありません。アリキャット社の質量流量ベースの混合技術は、安定した混合とスムーズな運転を実現し、製造業者の品質向上とコスト削減に貢献します。 ◎FusionFlow IMXの包装ラインとコンプライアンスへのメリット -正確な多種ガス質量流量測定により、混合ガスの量を常に正確に把握できます。 -高速制御応答により、圧力変動を相殺します。 -現場での混合により、通常ボトル入りの混合液に費やす費用を節約できます。 -オールインワン構成により、コンピューターなしで簡単にガス混合が可能詳細はこちら
◆テーブルトップのガスブレンドを一つのボックスで ◆2から6の統合MFC(任意の単位は0-100 SCCMから0-100 SLPM ユニットまで)です ◆ステンレス製フローパス ◎MAP包装(Modified Atmosphere Packaging) 食品・飲料包装業界では、製品の品質と安全性を確保するために、正確で信頼性の高いガス混合が求められています。従来のシステムは温度や圧力の変化に弱く、無駄や非効率につながることが少なくありません。アリキャット社の質量流量ベースの混合技術は、安定した混合とスムーズな運転を実現し、製造業者の品質向上とコスト削減に貢献します。 ◎FusionFlow IMXの包装ラインとコンプライアンスへのメリット -正確な多種ガス質量流量測定により、混合ガスの量を常に正確に把握できます。 -高速制御応答により、圧力変動を相殺します。 -現場での混合により、通常ボトル入りの混合液に費やす費用を節約できます。 -オールインワン構成により、コンピューターなしで簡単にガス混合が可能詳細はこちら
混合ガスを含め98種のガスに対応。±0.6% RD(16.7～100% FS)の正確さで10msの高速応答。 コントローラーは、50ms-100msの制御応答。積算オプションをつけることでバッチ制御も可能。 高速応答で安定性のある圧力制御が可能な圧力コントローラーもラインナップ。
『M/MCシリーズ』は、1台で98種類の多種多様なガスに対応できるALICAT社(アリキャット)製のマスフローメーター／コントローラーです。 【納期】 アリキャット製品の以下モデルの納期は 約４週間 となります。 ・フルスケール 2 mL/min ～ 1000 L/minの標準仕様のモデル (M/MB/MC) ・フルスケール 2 mL/min ～ 100 L/minの低圧力損失のモデル (MW/MWB/MCW) ※追加オプションの種類により納期が異なります。 ※コントローラーは圧力条件により納期が異なります。 それ以外のモデル、再校正、合計20台以上の納期は 6～8週間 となります。 【説明】 ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 【特長】 ■±0.6% RD(16.7～100% FS)の高い流量精度 ■0.5SCCMから12000SLPMまでラインアップ ■混合ガスにも対応 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『Mシリーズ』は、混合ガスを含め1台で98種類のガス流量の計測が可能な ALICAT(アリキャット)社製のマスフローメーターです。 ±(0.8% Reading ＋0.2% F.S.)の正確な流量計測ができ、10msの高速応答で 流量変化にすばやく追従。 この他に、腐食性ガス／冷媒ガスを含め130種類のガスに対応した「MSシリーズ」、 極めて小さな差圧で計測可能な「MWシリーズ」などもラインアップしています。 【特長】 ■10msの高速応答 ■±(0.8% RD + 0.2% FS) の高い流量精度 ■0.5SCCMから12000SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS-232C通信を標準搭載 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『MQシリーズ』は、混合ガスを含め1台で98種類のガス流量の計測が可能なALICAT(アリキャット)社製の高圧タイプのマスフローメーターです。 ±(0.8% Reading ＋0.2% F.S.)の正確な流量計測ができ、10msの高速応答で 流量変化にすばやく追従。 【特長】 ■最大動作圧力は320PSIA(2.2MPaA)。 ■耐圧は400PSIA(2.7MPaA)。 ■10msの高速応答 ■±(0.8% RD + 0.2% FS) の高い流量精度 ■0.5SCCMから5000SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS-232C通信を標準搭載 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『MSシリーズ』は、腐食性ガス／冷媒ガスを含め1台で130種類のガス流量の計測が可能なALICAT(アリキャット)社製のマスフローメーターです。 ±(0.8% Reading ＋0.2% F.S.)の正確な流量計測ができ、10msの高速応答で 流量変化にすばやく追従。 この他に、極めて小さな差圧で計測可能な「MWシリーズ」などもラインアップしています。 【特長】 ■10msの高速応答 ■±(0.8% RD + 0.2% FS) の高い流量精度 ■0.5SCCMから3000SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS-232C通信を標準搭載 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『MWシリーズ』は、非常に小さな差圧で計測が可能なため、圧力損失も非常に小さく、低圧でご使用される環境に最適なALICAT(アリキャット)社製のマスフローメーターです。 ±(0.8% Reading ＋0.2% F.S.)の正確な流量計測ができ、10msの高速応答で 流量変化にすばやく追従。 この他に、腐食性ガス／冷媒ガスを含め130種類のガスに対応した「MSシリーズ」、などもラインアップしています。 【特長】 ■10msの高速応答 ■±(0.8% RD + 0.2% FS) の高い流量精度 ■0.5SCCMから1000SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS-232C通信を標準搭載 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『MBシリーズ』は、混合ガスを含め1台で98種類のガス流量の計測が可能で持ち運び可能なALICAT(アリキャット)社製のマスフローメーターです。 ±(0.8% Reading ＋0.2% F.S.)の正確な流量計測ができ、10msの高速応答で流量変化にすばやく追従。 この他に、腐食性ガス／冷媒ガスを含め130種類のガスに対応した「MBSシリーズ」、極めて小さな差圧で計測可能な「MWBシリーズ」などもラインアップしています。 【特長】 ■10msの高速応答 ■±(0.8% RD + 0.2% FS) の高い流量精度 ■0.5SCCMから5000SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS-232C通信を標準搭載 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『MC/MCP/MCRシリーズ』は、1台で98種類の多種多様なガスに対応できるALICAT社(アリキャット)製の標準タイプのマスフローコントローラーです。 ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 この他に、腐食性ガス／冷媒ガスを含め128種類のガスに対応した 「MCHQS／MCRQSシリーズ」などのラインアップをご用意しています。 【特長】 ■100msの制御応答 ■±（0.8% RD + 0.2% FS）の高い流量精度 ■0.5SCCMから12000SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載 ■混合ガスにも対応 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『MC/MCP/MCRシリーズ』は、1台で98種類の多種多様なガスに対応できるALICAT社(アリキャット)製の高圧タイプのマスフローコントローラーです。 ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 この他に、腐食性ガス／冷媒ガスを含め128種類のガスに対応した 「MCHQS／MCRQSシリーズ」などのラインアップをご用意しています。 【特長】 ■100msの制御応答 ■±（0.8% RD + 0.2% FS）の高い流量精度 ■0.5SCCMから5000SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載 ■混合ガスにも対応 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『MCS/MCRSシリーズ』は、腐食性ガス／冷媒ガスを含め1台で128種類のガス流量の計測が可能なALICAT(アリキャット)社製のマスフローコントローラーです。 ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 この他に、極めて小さな差圧で計測可能な「MWシリーズ」などもラインアップしています。 【特長】 ■100msの制御応答 ■±（0.8% RD + 0.2% FS）の高い流量精度 ■0.5SCCMから3000SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載 ■混合ガスにも対応 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『MCW/MCRWシリーズ』は、非常に小さな差圧で計測が可能なため、圧力損失も非常に小さく、低圧でご使用される環境に最適なALICAT(アリキャット)社製のマスフローコントローラーです。 ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 この他に、腐食性ガス／冷媒ガスを含め128種類のガスに対応した「MCS/MCRSシリーズ」、などもラインアップしています。 【特長】 ■100msの制御応答 ■±（0.8% RD + 0.2% FS）の高い流量精度 ■0.5SCCMから1000SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載 ■混合ガスにも対応 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『MCE/MCESシリーズ』は、SEMI規格対応バルブ内蔵タイプのALICAT(アリキャット)社製のマスフローコントローラーです。 ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 【特長】 ■100msの制御応答 ■±（0.8% RD + 0.2% FS）の高い流量精度 ■10SCCMから20SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載 ■混合ガスにも対応 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『MCV/MCVSシリーズ』は、真空用シャットオフバルブ搭載のALICAT(アリキャット)社製のマスフローコントローラーです。 ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 【特長】 ■100msの制御応答 ■±（0.8% RD + 0.2% FS）の高い流量精度 ■10SCCMから20SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載 ■混合ガスにも対応 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『MCD/MCDSシリーズ』は、1台で98種類の多種多様なガスに対応できるALICAT社(アリキャット)製のマスフローコントローラーです。 ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 この他に、腐食性ガス／冷媒ガスを含め128種類のガスに対応した 「MCDSシリーズ」や「MCDWシリーズ」などのラインアップをご用意しています。 【特長】 ■100msの制御応答 ■±（0.8% RD + 0.2% FS）の高い流量精度 ■0.5SCCMから5000SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載 ■混合ガスにも対応 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【BIOシリーズ】は、ALICAT(アリキャット)社製のラミナーフロー方式(差圧式)による10msの高速応答ができるマスフローコントローラー。 ・長期間の安定性：極めて低いゼロドリフト ・プロセス水汚染に対する保証 ・高コントラスト、くっきりディスプレイ ・ASME（アメリカ機械学会）推奨：316Lステンレス鋼とUSPクラスVI、 FDA（食品医薬品局）グレードのエラストマー ・再校正なし、精度損失なしにガス選択切り替えが可能 ・産業用イーサネット ・ワイドレンジ流量：1SCCM～5000SLPM ・高速データ記録を可能にする応答速度10ms ・柔軟なプロセス接続（SAE標準）
『コリオリ式CODAシリーズ』は、高圧、低流量、および様々な特性の流体を正確に測定できるALICAT(アリキャット)社製のコリオリ式マスフローメーター／コントローラーです。 食品関係の低流量から高圧での流体まで正確に測定できます。可変流体混合物、腐食性の液体にも対応します。 【投与】 触媒研究や食品生産では、添加剤の正確な投与が非常に重要です。 CODAシリーズでは、超低流量機能による成分の測定と制御に最適です。 【高圧操作】 燃料電池やロケットの研究では、精度の高い要求を満たす必要があります。地上でも空中でも4,000PSIでの流体を正確に測定することが出来ます。 【可変システム】 流体の組成がわからない工程でも、正確な測定が重要です。バイオリアクター、可変流体混合物、化学反応での流出の測定など、変化する環境でも柔軟に測定を可能にします。 【腐食性液体】 化学コーティングから半導体まで、腐食性液体は製造において多くの流体制御システムに材料の適合性の課題をもたらします。腐食性の流体環境に対応しています。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『Pシリーズ』は、高速応答で安定性のあるALICAT(アリキャット)社製の圧力計です。 ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 【特長】 ■100msの制御応答 ■±(0.25% FS) の高い圧力精度 ■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『PC/PC3/PCD/PCRシリーズ』は、高速応答で安定性のある圧力制御が可能なALICAT(アリキャット)社製のコントローラーです。 ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 【特長】 ■100msの制御応答 ■±(0.25% FS) の高い圧力精度 ■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『L シリーズ』は、ALICAT(アリキャット)社製のラミナーフロー方式(差圧式)による20msの高速応答ができる液体用フローメーターです。 流量変化にすばやく追従し、リアルタイムに流量の確認が可能。 流量レンジは2～100％F.S.の50:1、0.5CCMタイプでは0.01mL/minから 計測できます。 外部出力として0～5VDC出力およびRS-232C通信を標準搭載しており、 NISTトレーサブル検査成績証が標準で付属します。 この他に液体用フローコントローラー「LC/LCR シリーズ」や、 オプションでバッテリーを搭載したポータブルタイプも取り扱っています。 【対応液体】 純水、メタノール、イソプロパノール、エタノール、アンモニア、ジメチルエーテル、イソペンタン、チオフェン、イソオクタン、ヘプタン、アセトン ※これらの他にも対応できる場合もございます。 【特長】 ■20msの高速応答／100msの制御応答 ■±2％F.S.の流量精度 ■0.5CCMから10LPMまで ■表示器はバックライト付き液晶 ■アナログ出力、 RS-232C通信を標準搭載
『LC/LCRシリーズ』は、ALICAT(アリキャット)社製のラミナーフロー方式(差圧式)による100msの応答速度で指定流量へすばやく制御できる液体用フローコントローラーです。 希望流量を短時間で得られます。 流量設定はフロントスイッチにより簡単操作。アナログ入力､通信による設定も可能。 液晶表示器を標準搭載。すばやい応答速度によりリアルタイムに流量を確認。 外部出力として0～5VDC出力およびRS-232C通信を標準搭載。 NISTトレーサブル検査成績証が標準で付属。 【対応液体】 純水、メタノール、イソプロパノール、エタノール、アンモニア、ジメチルエーテル、イソペンタン、チオフェン、イソオクタン、ヘプタン、アセトン ※これらの他にも対応できる場合もございます。 【特長】 ■20msの高速応答／100msの制御応答 ■±2％F.S.の流量精度 ■0.5CCMから10LPMまで ■表示器はバックライト付き液晶 ■アナログ出力、 RS-232C通信を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
