ALICAT社(アリキャット)製 微少流量(0.5SCCM)から大流量(12000SLPM)までラインナップ。双方向オプション。
混合ガスを含め98種のガスに対応。±0.6% RD(16.7～100% FS)の正確さで10msの高速応答。 コントローラーは、50ms-100msの制御応答。積算オプションをつけることでバッチ制御も可能。 高速応答で安定性のある圧力制御が可能な圧力コントローラーもラインナップ。
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基本情報
超微少流量(0.5SCCM)から大流量(12000SLPM)までラインナップ。 【ラインアップ】 マスフローメーター ■Mシリーズ（標準タイプ） ■MSシリーズ（腐食性ガス／冷媒ガス対応） ■MWシリーズ（低圧力損失タイプ） ■MQシリーズ（高圧タイプ） ■MB/MBS/MWBシリーズ（ポータブルマスフローメーター） ■PCUシリーズ（ポータブルキャリブレーションユニット） マスフローコントローラー ■MC/MCP/MCRシリーズ（標準タイプ） ■MCS/MCRSシリーズ（腐食性ガス／冷媒ガス対応） ■MCW/MCRWシリーズ（低圧力損失タイプ） ■MCQ/MCRQシリーズ（高圧タイプ） ■MCE/MCESシリーズ（SEMI規格：半導体装置向け高精度マスフローコントローラー） ■MCV/MCVSシリーズ（シャットオフバルブ搭載 真空用） ■MCD/MCRDシリーズ（デュアルバルブ） ■IS-Max シリーズ（本質安全防爆仕様） ■BIOシリーズ（バイオリアクター向け高精度フローコントローラー） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
~ 1ヶ月
※フルスケール 2 mL/min ～ 1000 L/minの標準仕様のモデルの納期は 約４週間 。それ以外のモデル、再校正、合計20台以上の納期は 6～8週間 となります。
用途／実績例
・航空宇宙・防衛・バイオリアクターおよび発酵槽・校正および計測・環境および大気モニタリング・食品・飲料・ガスクロマトグラフィー・ガス混合・ガラスおよび光ファイバー・水素・ラボグロウンダイヤモンド・漏れ検査・石油・ガス・研究室・薄膜堆積など
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この製品に関するニュース（1）
企業情報
・アリキャット製品 ■高性能マスフローメーター／コントローラー M/MCシリーズ ■低圧力損失 MW/MCWシリーズ ■腐食性ガス・冷媒ガス対応 MS/MCSシリーズ ■本質安全防爆仕様 IS-Maxシリーズ ■液体用 L/LCシリーズ ■真空用シャットオフバルブ搭載MCVシリーズ ■デュアルバルブMCDシリーズ ■圧力計／圧力コントローラーP/PC/PCDシリーズ ■本質安全防爆仕様 圧力計／圧力コントローラー IS-Proシリーズ ■バイオリアクター向け高精度フローコントロールBIOシリーズ ■液晶表示付コリオリCODAシリーズ ・イクイリバール製品 ■高性能背圧レギュレーター GS/GSDシリーズ ■サニタリー対応背圧レギュレーター FDシリーズ ■真空レギュレーター／真空バルブ EVRシリーズ ■高精度電子式圧力コントローラー HP-ERCシリーズ ■高純度・腐食性流体対応プレシジョン背圧レギュレーター ■ガス／液体プロセス向け高精度圧力制御ソリューション
