高精度のマスフローメーター・コントローラー
混合ガスを含め98種のガスに対応。±0.6% RD(16.7～100% FS)の正確さで10msの高速応答。
この製品へのお問い合わせ
企業情報
■高性能マスフローメーター／コントローラー M/MCシリーズ ■低圧力損失マスフローメーター／コントローラー MW/MCWシリーズ ■腐食性ガス・冷媒ガス対応マスフローメーター／コントローラー MS/MCSシリーズ ■本質安全防爆仕様マスフローメーター／コントローラー IS-Maxシリーズ ■液体用フローメーター ／コントローラー L/LC/LCRシリーズ ■真空用シャットオフバルブ搭載MCV/MCVSシリーズ ■SEMI規格対応バルブ内蔵タイプMCE／MCESシリーズ ■デュアルバルブMCD/MCRDシリーズ ■圧力計／圧力コントローラーP/PC/PC3/PCD/PCRシリーズ ■本質安全防爆仕様 圧力計／圧力コントローラー IS-Proシリーズ ■熱式流量計 小型マスフローコントローラーBASISシリーズ ■バイオリアクター向け高精度フローコントロールBIOシリーズ ■液晶表示付コリオリ高圧低流量高精度フローコントローラーCODAシリーズ
