マスフロー校正 - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

ALICAT社製品マスフローラインナップ ： Air校正について

ALICAT社(アリキャット)製　微少流量(0.5SCCM)から大流量(12000SLPM)までラインナップ。双方向オプション。

混合ガスを含め98種のガスに対応。±0.6% RD(16.7～100% FS)の正確さで10msの高速応答。 コントローラーは、50ms-100msの制御応答。積算オプションをつけることでバッチ制御も可能。 高速応答で安定性のある圧力制御が可能な圧力コントローラーもラインナップ。 アリキャットの製品はAirの校正で行われます。 ■Alicatのマスフロー機器は1msec毎に圧力と温度を測定します。 機器本体には予めNISTトレーサブルな3次元ガス特性データ(圧力と温度に対する粘度データ)が登録されています。 測定した圧力と温度の値より、登録された3次元ガス特性データから選択したガスの粘度データを決定し、流量の演算に使用します。 その粘度データに含まれるAirで校正することによって、登録されたガスでの測定を可能としております。 ■水素測定における精度検証について Airを使用して校正を行い、その後、第三者による実際の水素を使用した校正確認を実施。 その結果、測定値は規定および許容される公差の範囲内に十分収まっていることが確認されています。