Air校正・水素測定における精度検証について

混合ガスを含め1台で98種のガスに対応。±0.6% RDの正確さで高速応答。コントローラーは50ms-100msの制御応答。

『M/MCシリーズ』は、1台で98種類の多種多様なガスに対応できるALICAT社(アリキャット)製のマスフローメーター／コントローラーです。 【納期】 アリキャット製品の以下モデルの納期は 約４週間 となります。 ・フルスケール 2 mL/min ～ 1000 L/minの標準仕様のモデル　(M/MB/MC) ・フルスケール 2 mL/min ～ 100 L/minの低圧力損失のモデル　(MW/MWB/MCW) ※追加オプションの種類により納期が異なります。 ※コントローラーは圧力条件により納期が異なります。 それ以外のモデル、再校正、合計20台以上の納期は 6～8週間 となります。 【説明】 ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 【特長】 ■±0.6% RD(16.7～100% FS)の高い流量精度 ■0.5SCCMから12000SLPMまでラインアップ ■混合ガスにも対応 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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非常に小さな差圧で計測し、圧力損失が非常に小さく、低圧で使用する環境に最適なマスフローコントローラー。

『MCW/MCRWシリーズ』は、非常に小さな差圧で計測が可能なため、圧力損失も非常に小さく、低圧でご使用される環境に最適なALICAT(アリキャット)社製のマスフローコントローラーです。 ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 この他に、腐食性ガス／冷媒ガスを含め128種類のガスに対応した「MCS/MCRSシリーズ」、などもラインアップしています。 【特長】 ■100msの制御応答 ■±（0.8% RD + 0.2% FS）の高い流量精度 ■0.5SCCMから1000SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載 ■混合ガスにも対応 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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最大動作圧力は320PSIA(2.2MPaA)。耐圧は400PSIA(2.7MPaA)。混合ガスにも対応！納期6-8週間。

『MC/MCP/MCRシリーズ』は、1台で98種類の多種多様なガスに対応できるALICAT社(アリキャット)製の高圧タイプのマスフローコントローラーです。　 ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 この他に、腐食性ガス／冷媒ガスを含め128種類のガスに対応した 「MCHQS／MCRQSシリーズ」などのラインアップをご用意しています。 【特長】 ■100msの制御応答 ■±（0.8% RD + 0.2% FS）の高い流量精度 ■0.5SCCMから5000SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載 ■混合ガスにも対応 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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SEMI規格対応バルブ内蔵タイプのALICAT社製のマスフローコントローラー。納期6-8週間。

『MCE/MCESシリーズ』は、SEMI規格対応バルブ内蔵タイプのALICAT(アリキャット)社製のマスフローコントローラーです。 ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 【特長】 ■100msの制御応答 ■±（0.8% RD + 0.2% FS）の高い流量精度 ■10SCCMから20SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載 ■混合ガスにも対応 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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バルブ2基搭載し双方向制御が可能。加圧や負圧、真空引きでの制御が行えます。腐食性ガスや低圧力損失対応モデル有。納期6-8週間。

『MCD/MCDSシリーズ』は、1台で98種類の多種多様なガスに対応できるALICAT社(アリキャット)製のマスフローコントローラーです。 ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 この他に、腐食性ガス／冷媒ガスを含め128種類のガスに対応した 「MCDSシリーズ」や「MCDWシリーズ」などのラインアップをご用意しています。 【特長】 ■100msの制御応答 ■±（0.8% RD + 0.2% FS）の高い流量精度 ■0.5SCCMから5000SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載 ■混合ガスにも対応 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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真空用シャットオフバルブ搭載のマスフローコントローラー。混合ガス対応！バックライト付き液晶表示器を標準搭載。納期6-8週間。

『MCV/MCVSシリーズ』は、真空用シャットオフバルブ搭載のALICAT(アリキャット)社製のマスフローコントローラーです。 ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 【特長】 ■100msの制御応答 ■±（0.8% RD + 0.2% FS）の高い流量精度 ■10SCCMから20SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載 ■混合ガスにも対応 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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高速応答・高速制御を実現！混合ガス対応！アナログ出力、RS-232C通信・バックライト付き液晶表示器を標準搭載。納期6-8週間。

『MCS/MCRSシリーズ』は、腐食性ガス／冷媒ガスを含め1台で128種類のガス流量の計測が可能なALICAT(アリキャット)社製のマスフローコントローラーです。 ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 この他に、極めて小さな差圧で計測可能な「MWシリーズ」などもラインアップしています。 【特長】 ■100msの制御応答 ■±（0.8% RD + 0.2% FS）の高い流量精度 ■0.5SCCMから3000SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載 ■混合ガスにも対応 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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極めて小さな差圧で計測可能なマスフローメーター。 ラミナーフロー方式(差圧式)により高速応答を実現！双方向オプション対応。

『MWシリーズ』は、非常に小さな差圧で計測が可能なため、圧力損失も非常に小さく、低圧でご使用される環境に最適なALICAT(アリキャット)社製のマスフローメーターです。 ±(0.8% Reading ＋0.2% F.S.)の正確な流量計測ができ、10msの高速応答で 流量変化にすばやく追従。 この他に、腐食性ガス／冷媒ガスを含め130種類のガスに対応した「MSシリーズ」、などもラインアップしています。 【特長】 ■10msの高速応答 ■±(0.8% RD + 0.2% FS) の高い流量精度 ■0.5SCCMから1000SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS-232C通信を標準搭載 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 流量計
• その他計測・記録・測定器
• その他 流量計

ラミナーフロー方式(差圧式)により高速応答を実現！少流量から大流量までラインアップ。双方向オプション対応。納期6-8週間。

『MQシリーズ』は、混合ガスを含め1台で98種類のガス流量の計測が可能なALICAT(アリキャット)社製の高圧タイプのマスフローメーターです。 ±(0.8% Reading ＋0.2% F.S.)の正確な流量計測ができ、10msの高速応答で 流量変化にすばやく追従。 【特長】 ■最大動作圧力は320PSIA(2.2MPaA)。 ■耐圧は400PSIA(2.7MPaA)。 ■10msの高速応答 ■±(0.8% RD + 0.2% FS) の高い流量精度 ■0.5SCCMから5000SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS-232C通信を標準搭載 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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• その他計測・記録・測定器
• その他 流量計

ラミナーフロー方式(差圧式)により高速応答を実現！少流量から大流量までラインアップ。双方向オプション対応。納期6-8週間。

『MSシリーズ』は、腐食性ガス／冷媒ガスを含め1台で130種類のガス流量の計測が可能なALICAT(アリキャット)社製のマスフローメーターです。 ±(0.8% Reading ＋0.2% F.S.)の正確な流量計測ができ、10msの高速応答で 流量変化にすばやく追従。 この他に、極めて小さな差圧で計測可能な「MWシリーズ」などもラインアップしています。 【特長】 ■10msの高速応答 ■±(0.8% RD + 0.2% FS) の高い流量精度 ■0.5SCCMから3000SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS-232C通信を標準搭載 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 流量計
• その他計測・記録・測定器
• その他 流量計

混合ガスを含め98種のガスに対応。積算オプションをつけることでバッチ制御も可能。

『MC/MCP/MCRシリーズ』は、1台で98種類の多種多様なガスに対応できるALICAT社(アリキャット)製の標準タイプのマスフローコントローラーです。 ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 この他に、腐食性ガス／冷媒ガスを含め128種類のガスに対応した 「MCHQS／MCRQSシリーズ」などのラインアップをご用意しています。 【特長】 ■100msの制御応答 ■±（0.8% RD + 0.2% FS）の高い流量精度 ■0.5SCCMから12000SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載 ■混合ガスにも対応 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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• 流量制御
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ラミナーフロー方式(差圧式)により高速応答を実現！少流量から大流量までの豊富な機種をラインアップ。双方向オプション対応。

『Mシリーズ』は、混合ガスを含め1台で98種類のガス流量の計測が可能な ALICAT(アリキャット)社製のマスフローメーターです。 ±(0.8% Reading ＋0.2% F.S.)の正確な流量計測ができ、10msの高速応答で 流量変化にすばやく追従。 この他に、腐食性ガス／冷媒ガスを含め130種類のガスに対応した「MSシリーズ」、 極めて小さな差圧で計測可能な「MWシリーズ」などもラインアップしています。 【特長】 ■10msの高速応答 ■±(0.8% RD + 0.2% FS) の高い流量精度 ■0.5SCCMから12000SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS-232C通信を標準搭載 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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• その他計測・記録・測定器
• その他 流量計

ラミナーフロー方式(差圧式)により高速応答を実現！少流量から大流量までの豊富な機種をラインアップ。双方向オプション対応。

『MBシリーズ』は、混合ガスを含め1台で98種類のガス流量の計測が可能で持ち運び可能なALICAT(アリキャット)社製のマスフローメーターです。 ±(0.8% Reading ＋0.2% F.S.)の正確な流量計測ができ、10msの高速応答で流量変化にすばやく追従。 この他に、腐食性ガス／冷媒ガスを含め130種類のガスに対応した「MBSシリーズ」、極めて小さな差圧で計測可能な「MWBシリーズ」などもラインアップしています。 【特長】 ■10msの高速応答 ■±(0.8% RD + 0.2% FS) の高い流量精度 ■0.5SCCMから5000SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS-232C通信を標準搭載 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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ALICAT社(アリキャット)製　微少流量(0.5SCCM)から大流量(12000SLPM)までラインナップ。双方向オプション。

混合ガスを含め98種のガスに対応。±0.6% RD(16.7～100% FS)の正確さで10msの高速応答。 コントローラーは、50ms-100msの制御応答。積算オプションをつけることでバッチ制御も可能。 高速応答で安定性のある圧力制御が可能な圧力コントローラーもラインナップ。 アリキャットの製品はAirの校正で行われます。 ■Alicatのマスフロー機器は1msec毎に圧力と温度を測定します。 機器本体には予めNISTトレーサブルな3次元ガス特性データ(圧力と温度に対する粘度データ)が登録されています。 測定した圧力と温度の値より、登録された3次元ガス特性データから選択したガスの粘度データを決定し、流量の演算に使用します。 その粘度データに含まれるAirで校正することによって、登録されたガスでの測定を可能としております。 ■水素測定における精度検証について Airを使用して校正を行い、その後、第三者による実際の水素を使用した校正確認を実施。 その結果、測定値は規定および許容される公差の範囲内に十分収まっていることが確認されています。

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アリキャット BIOシリーズ！ 信頼性、適応性、互換性のあるフローコントロール。納期6-8週間。

【BIOシリーズ】は、ALICAT(アリキャット)社製のラミナーフロー方式(差圧式)による10msの高速応答ができるマスフローコントローラー。 ・長期間の安定性：極めて低いゼロドリフト ・プロセス水汚染に対する保証 ・高コントラスト、くっきりディスプレイ ・ASME（アメリカ機械学会）推奨：316Lステンレス鋼とUSPクラスVI、 FDA（食品医薬品局）グレードのエラストマー ・再校正なし、精度損失なしにガス選択切り替えが可能 ・産業用イーサネット ・ワイドレンジ流量：1SCCM～5000SLPM ・高速データ記録を可能にする応答速度10ms ・柔軟なプロセス接続（SAE標準）

• 流量計
• バイオガス
• その他 流量計

ハイパーCLT敷板は、机上の検討だけでつくられた土木資材ではありません。実際の建設会社と協力し、土木現場での実証実験を重ねながら、施工性や使いやすさを確認してきました。 仮設道路や搬入路、重機作業ヤードなどに実際に敷設し、車両や重機の走行、設置・撤去、現場内での移設などを検証。現場から得られた意見や使用状況を確認しながら、木材CLTの実用的な活用方法を蓄積しています。 また、軽量性だけでなく、照り返しや騒音の抑制、CO2固定など、木材ならではの特徴についても現場で確認を進めています。 ハイパーCLT敷板は、国土交通省NETIS登録技術「TH-250021-A」。建設会社との実証を積み重ねてきた、現場発想のCLT敷板として、さまざまな土木工事で活用されています。

コンパクト設計、設置場所を選ばない省スペース設計。 コンパクトボディながら高度計算ソフトにより高解像度のデータを生成します。 ＊ X線管電圧：20〜90kV, 又は40〜最大130kV ＊ 焦点径：7μm（5μm@4W） ＊ 検出器画素：89μm、約320万画素！ ＊ サンプルサイズ：Φ120mm ◉ Vcap（制御ソフト）： 撮影対象物、目的に合わせたカスタムメイドの撮影ステージ。撮影から画像出力までの一連の作業をクリック操作だけで行えます。最速20秒で高速連続撮影、撮影開始から画像再構成まで約30秒で処理 ◉ VCT（再構成ソフト）： ご指定の撮影対象物に特化した自動計測・解析ソフトをカスタマイズ可能 撮影画像992 x 992ピクセル、プロジェクション数600の撮影データをわずか3.8秒で高速再構成！ ◉ MolcerPlus（3D表示解析）： 従来他のソフトウエアで困難であった測定条件を可能にするカスタムソフトウエア 画像化した物体を、表示・加工・計測するためのソフトウエア ●高い安全性、 ●多種・多様なサンプルにも対応 ●直感的HMI、簡単操作

コンパクト設計、設置場所を選ばない省スペース設計。 コンパクトボディながら高度計算ソフトにより高解像度のデータを生成します。 ＊ X線管電圧：0〜150kV ＊ 焦点径：7μm（5μm@4W） ＊ 検出器画素：49.5μm、675万画素！ ＊ サンプルサイズ：Φ100mm ◉ Vcap（制御ソフト）： 撮影対象物、目的に合わせたカスタムメイドの撮影ステージ。撮影から画像出力までの一連の作業をクリック操作だけで行えます。最速20秒で高速連続撮影、撮影開始から画像再構成まで約30秒で処理 ◉ VCT（再構成ソフト）： ご指定の撮影対象物に特化した自動計測・解析ソフトをカスタマイズ可能 撮影画像992 x 992ピクセル、プロジェクション数600の撮影データをわずか3.8秒で高速再構成！ ◉ MolcerPlus（3D表示解析）： 従来他のソフトウエアで困難であった測定条件を可能にするカスタムソフトウエア 画像化した物体を、表示・加工・計測するためのソフトウエア ●高い安全性、 ●多種・多様なサンプルにも対応 ●直感的HMI、簡単操作

３Ｍ社のフロリナート(TM)が生産中止されたのに伴い、代替液の確保にお困りではないですか？ もしよろしければ、『液を買い続ける』のではなく『液を不要にする』ことで、 検査コストを大幅に削減させるリークテストをご提案をいたします。 ● 本製品は、フロリナート(TM)（フッ素系不活性液体）を使用しない、PFASフリーの電子部品用の気密検査（リークテスト）装置です。 ● リークテストに用いる媒体が空気（エアー）の為、ランニングコストがかかりません。 ● 液没検査（水没検査）による不安定な目視確認はもう必要ありません。定量検査が可能で安定的な圧力漏れ試験法を採用しています。代替検査としておすすめです。 ● グロスリーク専用の卓上気密検査装置で、液没検査と同等以上の精度です。 ● 可検領域は 1×10⁻²Pa・m³/s ～ 1×10⁻⁶Pa・m³/s 程度（対象製品により異なります） ● 数ミリ角から、最大 80 × 70 mm までの密封構造製品が対象です。 この機会に是非お問い合わせください！

気密性・密封性を検査するための漏れ試験機器を開発・製造・販売している株式会社フクダが、 気密検査の方法や理論を分かり易く解説した技術資料である、 『テクニカルマニュアル（Technical Manual）』 をＰＤＦデータとしてご提供させていただいております。 ぜひこの機会にダウンロードしてご覧ください！