バルブ2基搭載し双方向制御が可能。加圧や負圧、真空引きでの制御が行えます。腐食性ガスや低圧力損失に対応したモデルもラインナップ。
『MCD/MCDSシリーズ』は、1台で98種類の多種多様なガスに対応できるALICAT社(アリキャット)製のマスフローコントローラーです。 ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 この他に、腐食性ガス／冷媒ガスを含め128種類のガスに対応した 「MCDSシリーズ」や「MCDWシリーズ」などのラインアップをご用意しています。 【特長】 ■100msの制御応答 ■±（0.8% RD + 0.2% FS）の高い流量精度 ■0.5SCCMから5000SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載 ■混合ガスにも対応 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【ラインアップ】 ■MC/MCP/MCRシリーズ（標準タイプ） ■MCS/MCRSシリーズ（腐食性ガス／冷媒ガス対応） ■MCW/MCRWシリーズ（低圧力損失タイプ） ■MCQ/MCRQシリーズ（高圧タイプ） ■MCV/MCVSシリーズ（シャットオフバルブ搭載） ■MCD/MCRDシリーズ（デュアルバルブ） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
※納期は 6～8週間 となります。
用途／実績例
・航空宇宙・防衛・バイオリアクターおよび発酵槽・校正および計測・環境および大気モニタリング・食品・飲料・ガスクロマトグラフィー・ガス混合・ガラスおよび光ファイバー・水素・ラボグロウンダイヤモンド・漏れ検査・石油・ガス・研究室・薄膜堆積など
カタログ（7）
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この製品に関するニュース（1）
企業情報
・アリキャット製品 ■高性能マスフローメーター／コントローラー M/MCシリーズ ■低圧力損失 MW/MCWシリーズ ■腐食性ガス・冷媒ガス対応 MS/MCSシリーズ ■本質安全防爆仕様 IS-Maxシリーズ ■液体用 L/LCシリーズ ■真空用シャットオフバルブ搭載MCVシリーズ ■デュアルバルブMCDシリーズ ■圧力計／圧力コントローラーP/PC/PCDシリーズ ■本質安全防爆仕様 圧力計／圧力コントローラー IS-Proシリーズ ■バイオリアクター向け高精度フローコントロールBIOシリーズ ■液晶表示付コリオリCODAシリーズ ・イクイリバール製品 ■高性能背圧レギュレーター GS/GSDシリーズ ■サニタリー対応背圧レギュレーター FDシリーズ ■真空レギュレーター／真空バルブ EVRシリーズ ■高精度電子式圧力コントローラー HP-ERCシリーズ ■高純度・腐食性流体対応プレシジョン背圧レギュレーター ■ガス／液体プロセス向け高精度圧力制御ソリューション
