ラミナーフロー方式(差圧式)により高速応答を実現！少流量から大流量までラインアップ。双方向オプション対応。納期6-8週間。
『MSシリーズ』は、腐食性ガス／冷媒ガスを含め1台で130種類のガス流量の計測が可能なALICAT(アリキャット)社製のマスフローメーターです。 ±(0.8% Reading ＋0.2% F.S.)の正確な流量計測ができ、10msの高速応答で 流量変化にすばやく追従。 この他に、極めて小さな差圧で計測可能な「MWシリーズ」などもラインアップしています。 【特長】 ■10msの高速応答 ■±(0.8% RD + 0.2% FS) の高い流量精度 ■0.5SCCMから3000SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS-232C通信を標準搭載 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【ラインアップ（抜粋）】 ■Mシリーズ（標準タイプ） ■MSシリーズ（腐食性ガス／冷媒ガス対応） ■MWシリーズ（低圧力損失タイプ） ■MQシリーズ（高圧タイプ） ■MB/MBS/MWBシリーズ（ポータブルマスフローメーター） ■PCUシリーズ（ポータブルキャリブレーションユニット） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
※納期は 6～8週間 となります。
用途／実績例
・航空宇宙・防衛・バイオリアクターおよび発酵槽・校正および計測・環境および大気モニタリング・食品・飲料・ガスクロマトグラフィー・ガス混合・ガラスおよび光ファイバー・水素・ラボグロウンダイヤモンド・漏れ検査・石油・ガス・研究室・薄膜堆積など
カタログ（7）
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この製品に関するニュース（1）
企業情報
・アリキャット製品 ■高性能マスフローメーター／コントローラー M/MCシリーズ ■低圧力損失 MW/MCWシリーズ ■腐食性ガス・冷媒ガス対応 MS/MCSシリーズ ■本質安全防爆仕様 IS-Maxシリーズ ■液体用 L/LCシリーズ ■真空用シャットオフバルブ搭載MCVシリーズ ■デュアルバルブMCDシリーズ ■圧力計／圧力コントローラーP/PC/PCDシリーズ ■本質安全防爆仕様 圧力計／圧力コントローラー IS-Proシリーズ ■バイオリアクター向け高精度フローコントロールBIOシリーズ ■液晶表示付コリオリCODAシリーズ ・ガスミキサー（MAP包装用等） ■MXM 精密ガスミキサー ■IMX 工業用ガスミキサー ・イクイリバール製品 ■高性能背圧レギュレーター GS/GSDシリーズ ■サニタリー対応背圧レギュレーター FDシリーズ ■真空レギュレーター／真空バルブ EVRシリーズ ■高精度電子式圧力コントローラー HP-ERCシリーズ ■高純度・腐食性流体対応プレシジョン背圧レギュレーター ■ガス／液体プロセス向け高精度圧力制御ソリューション
