日本スターテクノの製品ラインアップ

代表的な技術は、ドーム型多孔式背圧レギュレータで、幅広いCv値、最大圧力、および温度に対応したモデルをご用意しています。Equilibarはまた、電子レギュレータ、減圧レギュレータ、特殊バルブおよびレギュレータ、真空レギュレータなど、豊富な製品を取り揃えており、最も複雑な状況にも最適なソリューションを提供します。 スプリングやピストンの摺動部が流体に接しないため、高粘度でも動作が安定します。

ダイヤフラム上部の真空圧によってドームが加圧され、入口真空圧をこの「パイロット真空圧」にほぼ等しく制御します。ドーム上のパイロット真空圧は、手動または電子式の真空レギュレータを使用して調整でき、オープンループ制御またはクローズドループ制御方式で動作させることができます。真空パイロット制御方式の選択は、アプリケーションの性能要件によって異なります。 注： イクイリバール EVRは過酷な化学条件下にも対応していますが、当社の真空パイロットレギュレーターおよび継手は対応していません。真空パイロットを通る流れは、大気圧から真空供給ポンプの入口に向かうため、通常の運転中は真空パイロットに化学物質が流入することはありません。真空パイロットレギュレーターからは常に少量の漏れがあります。詳細については、安全設計ページの最下部をご覧ください。過酷な化学薬品を使用する場合は、アプリケーションエンジニアにご相談ください。

入力条件が大きく変動する場合でも、非常に安定した入口圧力を制御するために特別に設計されています。EVRは、供給真空度の変動や流量の変化に関わらず、厳密な制御を維持します。Equilibar精密真空レギュレータは、従来の真空制御弁とは異なる動作原理を採用しています。可動部品はフレキシブルダイヤフラムのみで、このダイヤフラムが内部バルブのオリフィスに直接シールすることで、従来の真空制御弁によく見られる、動的Oリングやワイパータイプのシールによる「スティクション」を排除しています。Equilibarの設計は摩擦がなく、非常に高い分解能で真空を制御できます。

ドーム型多孔オリフィス技術を採用して設計されており、幅広い流量範囲で精密な制御を実現します。Equilibar精密EVRは、唯一の可動部品であるフレキシブルダイヤフラムを制御機構として採用しています。このダイヤフラムはバルブ内部のオリフィスに直接密着するため、従来の動的Oリングやワイパータイプのシールを用いた真空制御バルブによく見られる「スティクション」を解消します。Equilibar設計は摩擦がなく、極めて高い分解能で真空を制御できます。動作原理の詳細については、こちらをご覧ください。 当社の高精度高流量真空バルブは、1 1/2インチから4インチまでのサイズを取り揃えており、材質は用途に応じた温度および耐薬品性に​​応じて、ステンレス鋼316/316L、陽極酸化アルミニウム、またはPVCからお選びいただけます。各EVRには、ノブで簡単に調整できる手動パイロット設定値レギュレーターが付属しています。EVRの自動化をご希望の場合は、電子パイロットレギュレーターをご購入いただけます。

コンピュータによる指令信号によって真空制御を行います。指令信号はまず小型の電子レギュレータに送信され、そこからパイロット信号が生成されてドーム型Equilibar真空レギュレータ（EVR）の基準ポートに送られ、プロセス圧力を制御します。 Equilibar社は、このパイロット基準信号を提供する高精度電子圧力レギュレータのシリーズを提供しています。QPV超高分解能モデルとEPR-30Hgモデルは、ヒステリシスやデッドバンドがほとんどないため、精密な調整が可能です。 これらのレギュレータは、オープンループモードまたはクローズドループモードで使用できます。オープンループモードでは、コンピュータ信号によって真空設定値が電子パイロットレギュレータに送られ、パイロットレギュレータはその指令された圧力をEVR基準ポートに供給して、プロセス真空を設定値に非常に近い値に保ちます。オープンループモードでは、流量が増加するにつれて真空圧力にわずかな変動が生じます。

高流量電子式真空調整弁は、従来のPID制御バタフライ弁よりもはるかに高速かつ高精度なソリューションを提供します。 Equilibarの2段式パイロット制御ソリューションでは、小型の電子式真空パイロットレギュレータが真空設定値信号を大型の背圧レギュレータ（BRP）に送信し、BRPの入口で1対1の直接的な関係で制御された真空状態を実現します。この目的のために、Equilibarの高分解能電子式真空パイロットレギュレータが使用されます。この電子式真空パイロットレギュレータと高精度パイロット制御背圧レギュレータの組み合わせにより、完全な電子式真空バルブパッケージが構成されます。電子式真空バルブは、従来の4-20mAアナログ入力と最新のシリアルデジタル入力の両方に対応しています。 クローズドループモードでは、プロセス真空圧力は別の真空圧力センサーによって監視され、パイロットレギュレーターへの指令信号が調整されて、プロセス圧力が目標設定値に一致するように制御されます。このPID制御は、機種によっては電子圧力レギュレーター内部で実行される場合もあれば、プロセス制御システムで設定される場合もあります。