レーザ装置×コヒレント・ジャパン株式会社 - メーカー・企業と製品の一覧

【応用事例】半導体製造　製造工場をサポート

先端のトランジスタノードからレガシーノードに至るまで！半導体製造　製造工場をサポート

当社の製品は、欠陥の特定および回避、Low-k誘電体などの高度な材料の加工により、先端のトランジスタノードからレガシーノードに至るまで製造工場をサポートします。幅広い製品ラインアップの短波長レーザにより高解像度を実現可能。出力の向上とレーザの短波長化により、欠陥検知感度の向上と処理の高速化を実現しています。また、当社のUV/DUVレーザは、卓越した経験に裏打ちされた優れた信頼性を備えています。【目的別ラインアップ(一部)】 ■ウェハ検査・PALADINシリーズ ■マスクライティング・INDYSTAR ・GENESIS ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。