半導体製造装置振動モニター -変位データを長期間ロギング-
長期間にわたり除振台の変位データをロギングする低コスト半導体製造装置振動モニタ
■□■特徴■□■ ■半導体製造ラインでの不良の原因となる振動について、 除振台に変位計、加速度計を設置して最大10Hzで長期間連続集録 ■集録したデータは画面上にそのまま/周波数解析して グラフ表示する他、1時間毎のCSVファイルとして出力 ■本システムで保存したデータを解析・表示するオプション有り
- 企業：株式会社ペリテック 神奈川エンジニアリングセンター、東京営業所、ベトナム事業所
- 価格：応相談
