研磨工程の歩留向上、レートUP【DP付修正キャリア】修正とは?
歩留向上、レートUPへ!パッドドレッサー(DP付修正キャリア)を利用されている人の多くが見てないポイントがPADの精度修正。
DP付修正キャリア(パッドドレッサー)をなんとなく使ってませんか? DP付修正キャリアはPADの種類によって変えるべきポイントがあります。 主な使用目的 ・ドレス ・目詰まり改善・防止 ・PADの状態の均一化 ・レートUP ・歩留向上 などがありますが、研磨の基本は定盤精度です。 その定盤(PAD)精度の修正や表面状態の改善、維持に使われるのがDP付修正キャリアですが、PADの精度に着目しているお客様が少ないのが現状です。 見方を変えればそこが差別化のポイントとなります。 PADの表面状態の改善は大きく分けて2つあります。 ・定盤全体の精度を修正(ツルーイング) ・定盤の表面状態の修正・改善(ドレッシング) DP付修正キャリアも目的に合わせて大きく2種類に分かれます。 ・リングタイプ(ツルーイング+ドレッシング) ・落とし込み(ドレッシング) 現状の課題(フチダレやレート改善)や日々の管理でどのようなタイプを使うべきか、現状はどのような状態であるかの確認をしてみてはいかがでしょうか? ご相談いただけましたら技術スタッフによる現場フォローも可能です。
- 企業:八千代マイクロサイエンス 株式会社
- 価格:応相談