反転ユニット×株式会社ジェーイーエル - メーカー・企業と製品の一覧

反転ユニット

両面処理等が必要な装置に適しています。

小型、軽量化:従来製品に対して容積50%downを実現 高速反転:従来品に対して速度20%upを実現(300mmウェーハ比) (小型ウェーハの場合速度50%upを実現) 低振動:新開発のモータドライバと制御方式により、低振動化を実現 真空吸着、エッジクリップ、ベルヌーイ等各種ウェーハ保持方式に対応

• 企業：株式会社ジェーイーエル
• 価格：応相談

• その他半導体製造装置